（来源：邯郸网络广播电视台）
转自：邯郸网络广播电视台
中船（邯郸）派瑞特气公司建成数百吨级电子混合气生产线
自主技术为高端芯片制造赋能
日前，2025年度河北省科学技术奖励大会在石家庄召开。中船集团第七一八研究所旗下中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司牵头的“集成电路用超高纯电子混合气制备和分析技术研究及产业化”项目，凭借关键核心技术突破与显著的产业化成果，成功获评河北省技术发明奖二等奖。
如果把集成电路芯片制造比作现代信息产业的“地基工程”，电子气体就是这项工程中不可或缺的基础性支撑材料。据介绍，电子混合气在电子气体中的数量占比超过60%，贯穿芯片制造的多个关键工艺制程，在集成电路产业全链条中发挥着不可替代的作用。
长期以来，电子混合气制备行业有着极高的技术壁垒与严苛的工艺要求。受限于技术短板，国内相关产品品类布局有限，核心技术与市场资源长期被海外头部企业占据主导地位。
派瑞特气围绕电子混合气制备全流程关键技术环节开展系统性攻关，实现了多项核心技术的自主突破。项目团队攻克了关键组分气高效、安全、绿色的制备纯化技术，解决了剧毒品的安全储存难题；开发出电子混合气全自动化精准配制技术，破解了传统配制模式的精度瓶颈；创建了适配多种混合气体的痕量杂质分析检测技术，最终成功建立起超高纯电子混合气从原料制备、精准配制到分析检测的全链条自主技术体系。
凭借这套全链条自主可控的技术体系，该项目取得了显著的产业化成果。目前，派瑞特气已依托该项目成功研制出多款纯度达到99.9999%的电子混合气产品，满足高端芯片制造的超高纯标准。与此同时，公司已建成数百吨级的电子混合气生产线，实现了相关产品的规模化量产。该项目的落地，不仅补齐了我国超高纯电子混合气领域的产业技术短板，有力助推了国内相关产业实现规模化、产业化高质量发展，也有效带动了地方经济增长，取得了良好的经济效益。
邯郸新闻传媒中心记者 王翔
