5月11日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）收盘涨6.32%，成交额13.57亿元。
科创半导体ETF华夏（588170）成立于2025年3月24日，基金全称为华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。科创半导体ETF华夏（588170）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率。
规模方面，截止5月8日，科创半导体ETF华夏（588170）最新份额为41.91亿份，最新规模为84.17亿元。回顾2025年12月31日，科创半导体ETF华夏（588170）份额为24.47亿份，规模为36.77亿元。即该基金今年以来份额增加71.27%，规模增加128.89%。
流动性方面，截止5月11日，科创半导体ETF华夏（588170）近20个交易日累计成交金额175.47亿元，日均成交金额8.77亿元；今年以来，81个交易日，累计成交金额716.36亿元，日均成交金额8.84亿元。
科创半导体ETF华夏（588170）现任基金经理为杨斯琪。杨斯琪自2025年3月24日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益100.83%。
最新定期报告显示，科创半导体ETF华夏（588170）重仓股包括拓荆科技、华海清科、中微公司、中科飞测、安集科技、沪硅产业、芯源微、华峰测控、天岳先进、富创精密，持仓占比如下。
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688072 | 拓荆科技 | 10.76% | 234.87万 | 8.69亿 |
| 688120 | 华海清科 | 10.64% | 494.08万 | 8.60亿 |
| 688012 | 中微公司 | 9.97% | 263.03万 | 8.06亿 |
| 688361 | 中科飞测 | 7.89% | 419.47万 | 6.38亿 |
| 688019 | 安集科技 | 7.31% | 235.61万 | 5.91亿 |
| 688126 | 沪硅产业 | 6.99% | 3343.07万 | 5.65亿 |
| 688037 | 芯源微 | 6.66% | 321.25万 | 5.38亿 |
| 688200 | 华峰测控 | 6.16% | 189.44万 | 4.98亿 |
| 688234 | 天岳先进 | 4.35% | 428.99万 | 3.51亿 |
| 688409 | 富创精密 | 3.41% | 305.78万 | 2.76亿 |
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