数据显示，5月8日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)遭净赎回1740.57万元，位居当日股票ETF净流出排名143/1182。最新规模28.65亿元，前一日规模29.44亿元，当日资金净流出额占前一日规模的比例为0.59%。
近5日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)遭净赎回7952.16万元，位居股票ETF净流出排名第131/1182。近10日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)遭净赎回1.33亿元，位居股票ETF净流出排名第145/1182。近20日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)遭净赎回2.69亿元，位居股票ETF净流出排名第138/1182。
华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)已连续4日资金遭净赎回，区间净流出额9576万元。
华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）成立于2023年10月9日，基金全称为华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。
规模方面，截止5月8日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）最新份额为13.22亿份，最新规模为28.65亿元。回顾2025年12月31日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）份额为4.9亿份，规模为7.91亿元。即该基金今年以来份额增加169.91%，规模增加261.97%。
流动性方面，截止5月8日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）近20个交易日累计成交金额40.99亿元，日均成交金额2.05亿元；今年以来，80个交易日，累计成交金额145.82亿元，日均成交金额1.82亿元。
华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）现任基金经理为单宽之。单宽之自2024年6月11日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益137.76%。
最新定期报告显示，华夏基金（562590）重仓股包括中微公司、北方华创、拓荆科技、长川科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、南大光电、江丰电子、安集科技，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688012 | 中微公司 | 14.88% | 120.28万 | 3.69亿 |
| 002371 | 北方华创 | 12.95% | 71.78万 | 3.21亿 |
| 688072 | 拓荆科技 | 7.38% | 49.38万 | 1.83亿 |
| 300604 | 长川科技 | 6.35% | 130.02万 | 1.57亿 |
| 688120 | 华海清科 | 5.09% | 72.45万 | 1.26亿 |
| 688126 | 沪硅产业 | 3.81% | 558.07万 | 9431.45万 |
| 688361 | 中科飞测 | 3.77% | 61.46万 | 9345.53万 |
| 300346 | 南大光电 | 3.69% | 202.38万 | 9135.52万 |
| 300666 | 江丰电子 | 3.49% | 62.10万 | 8645.56万 |
| 688019 | 安集科技 | 3.48% | 34.35万 | 8610.16万 |
跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20260508 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20260508 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 159516 | 国泰中证半导体材料设备主题ETF | 216.24 | 16.00 | -4.86 | -11.62 | -32.21 | 国泰基金 |
| 159558 | 易方达中证半导体材料设备主题ETF | 60.45 | 3.65 | -0.63 | -1.18 | 1.45 | 易方达基金 |
| 560780 | 广发中证半导体材料设备ETF | 37.26 | 1.79 | -0.39 | -1.99 | -5.25 | 广发基金 |
| 562590 | 华夏中证半导体材料设备主题ETF | 28.65 | 2.06 | -0.17 | -0.87 | -2.32 | 华夏基金 |
| 159327 | 万家中证半导体材料设备主题ETF | 11.55 | 0.71 | -0.10 | -1.36 | -1.41 | 万家基金 |
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