数据显示，5月7日，富国中证芯片产业ETF(516640)遭净赎回552.91万元，位居当日股票ETF净流出排名301/1181。最新规模13.77亿元，前一日规模13.63亿元，当日资金净流出额占前一日规模的比例为0.41%。
近5日，富国中证芯片产业ETF(516640)遭净赎回9865.63万元，位居股票ETF净流出排名第109/1181。近10日，富国中证芯片产业ETF(516640)遭净赎回2.09亿元，位居股票ETF净流出排名第95/1181。近20日，富国中证芯片产业ETF(516640)遭净赎回3.51亿元，位居股票ETF净流出排名第105/1181。
富国中证芯片产业ETF(516640)已连续17日资金遭净赎回，区间净流出额3.28亿元。
富国中证芯片产业ETF（516640）成立于2021年8月19日，基金全称为富国中证芯片产业交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为富国中证芯片产业ETF。该基金管理费率每年0.15%，托管费率每年0.05%。富国中证芯片产业ETF（516640）跟踪标的指数为芯片产业（H30007）。
规模方面，截止5月7日，富国中证芯片产业ETF（516640）最新份额为9.86亿份，最新规模为13.77亿元。回顾2025年12月31日，富国中证芯片产业ETF（516640）份额为13.14亿份，规模为13.94亿元。即该基金今年以来份额减少24.95%，规模减少1.18%。
流动性方面，截止5月7日，富国中证芯片产业ETF（516640）近20个交易日累计成交金额20.35亿元，日均成交金额1.02亿元；今年以来，79个交易日，累计成交金额75.85亿元，日均成交金额9601.75万元。
富国中证芯片产业ETF（516640）现任基金经理为张圣贤。张圣贤自2021年8月19日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益39.68%。
最新定期报告显示，富国基金（516640）重仓股包括海光信息、北方华创、中芯国际、寒武纪、兆易创新、澜起科技、中微公司、豪威集团、芯原股份、佰维存储，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688041 | 海光信息 | 7.69% | 47.52万 | 9990.76万 |
| 002371 | 北方华创 | 7.60% | 22.08万 | 9871.15万 |
| 688981 | 中芯国际 | 7.41% | 102.32万 | 9623.35万 |
| 688256 | 寒武纪 | 7.27% | 9.60万 | 9438.57万 |
| 603986 | 兆易创新 | 6.25% | 34.12万 | 8123.54万 |
| 688008 | 澜起科技 | 5.65% | 58.57万 | 7337.39万 |
| 688012 | 中微公司 | 5.27% | 22.36万 | 6851.39万 |
| 603501 | 豪威集团 | 3.17% | 43.42万 | 4123.53万 |
| 688521 | 芯原股份 | 2.94% | 18.87万 | 3817.04万 |
| 688525 | 佰维存储 | 2.74% | 16.80万 | 3560.65万 |
跟踪芯片产业（H30007）的ETF包括易方达中证芯片产业ETF（516350）、富国中证芯片产业ETF（516640）、天弘中证芯片产业ETF（159310）、芯片ETF基金（159599）、汇添富中证芯片产业ETF（516920）等，规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20260507 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20260507 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 516350 | 易方达中证芯片产业ETF | 17.82 | 1.02 | 0.0000 | -0.03 | -0.98 | 易方达基金 |
| 516640 | 富国中证芯片产业ETF | 13.77 | 1.03 | -0.06 | -0.25 | -3.28 | 富国基金 |
| 159310 | 天弘中证芯片产业ETF | 12.42 | 0.17 | -0.46 | -0.95 | -2.02 | 天弘基金 |
| 159599 | 芯片ETF基金 | 12.41 | 0.91 | 0.32 | 0.48 | -2.44 | 东财基金 |
| 516920 | 汇添富中证芯片产业ETF | 6.53 | 0.37 | -0.13 | -0.30 | -1.82 | 汇添富基金 |
| 159560 | 景顺长城中证芯片产业ETF | 3.74 | 0.14 | -0.10 | -0.06 | -0.54 | 景顺长城基金 |
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