奕斯伟材料、奕斯伟硅片取得研磨设备相关专利,研磨设备可清洁盘面,提升产品品质
新浪证券-红岸工作室
5月8日消息,国家知识产权局信息显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司、西安奕斯伟硅片技术有限公司申请一项名为“一种研磨设备”的专利,授权公告号CN118769123B,授权公告日为2026年5月5日。申请公布号为CN118769123A,申请号为CN202411113377.8,申请公布日期为2026年5月5日,申请日期为2024年8月14日,发明人董佳佳、郭宏雁、孙介楠、陈曦鹏、赵静,专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司,专利代理师汤明明,分类号B24B37/08、B24B37/34、B24B55/12。
专利摘要显示,本公开提供一种研磨设备,包括:下定盘,包括相背设置的工作盘面和底面,所述工作盘面上设有呈网状分布的导流沟槽,且所述导流沟槽的若干沟槽交叉节点处设有贯穿所述工作盘面和所述底面的导流孔;中转回收单元,包括设有腔室的中转构件和回收容器,所述导流孔连通至所述中转构件的腔室,所述回收容器的腔室连通至所述中转构件的腔室;负压产生单元,与所述回收容器连通,用于为所述回收容器的内腔提供负压环境,以使所述导流沟槽中残留物经过所述导流孔流入所述中转构件的腔室。本公开提供额一种研磨设备能够有效清洁研磨盘面,提升研磨产品品质。
西安奕材于2016年3月16日成立,2025年10月28日在上海证券交易所上市,注册地址和办公地址均为陕西省西安市。该公司是国内领先的12英寸硅片制造商,专注相关研发生产,具备技术与生产规模优势。
西安奕材隶属于申万行业的电子-半导体-半导体材料板块,所属概念板块有昨日高换手、国家大基金持股、新股与次新股,主营业务为12英寸硅片的研发、生产和销售。
2025年,西安奕材实现营业收入26.49亿元,在行业26家公司中排名第6,高于行业平均数19.89亿元和中位数11.14亿元,但与第一名有研新材的95.42亿元、第二名雅克科技的86.11亿元仍有差距。其主营业务中,测试片收入10.42亿元占比39.33%,抛光片9.84亿元占比37.15%,外延片6.1亿元占比23.03%。不过,公司当期净利润为 -7.38亿元,在行业中排名第25,远低于行业平均数3265.85万元和中位数8178.71万元,与第一名雅克科技的10.3亿元、第二名江丰电子的4.14亿元差距明显。
西安奕斯伟材料科技股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种晶体生长控制方法、装置及单晶硅生长炉 | 发明专利 | 公布 | CN202610346716.X | 2026-03-20 | CN121931598A | 2026-04-28 | 杨文武、宁沛娜 |
| 2 | 晶棒处理设备和晶棒处理方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610120374.X | 2026-01-28 | CN121945472A | 2026-05-01 | 郭宏雁、黄兆皓 |
| 3 | 硅片刻蚀方法和硅片刻蚀设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610079762.8 | 2026-01-21 | CN121865865A | 2026-04-14 | 贾志怡 |
| 4 | 控制半导体单晶生长的方法、装置、及晶棒 | 发明专利 | 公布 | CN202512010297.0 | 2025-12-29 | CN121653837A | 2026-03-13 | 杨文武、宁沛娜 |
| 5 | 半导体制造设备,及其尾气处理方法、系统 | 发明专利 | 公布 | CN202512010197.8 | 2025-12-29 | CN121944738A | 2026-05-01 | 杨文武、宁沛娜 |
| 6 | 拉晶工艺的功率控制方法、装置、设备及计算机存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511996021.8 | 2025-12-26 | CN121675079A | 2026-03-17 | 杨文武、宁沛娜 |
| 7 | 一种晶圆的抛光方法以及晶圆 | 发明专利 | 公布 | CN202511956856.0 | 2025-12-23 | CN121941286A | 2026-04-28 | 贾磊、杨新元、王明 |
| 8 | 抛光头组件、化学机械抛光系统及晶圆的制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511911677.5 | 2025-12-17 | CN121624982A | 2026-03-10 | 王鹏、许涛、杨启 |
| 9 | 晶圆检测设备和晶圆检测方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511904874.4 | 2025-12-17 | CN121678673A | 2026-03-17 | 薛博涛、陈光林、刘玉乾、黄兆皓 |
| 10 | 单晶硅棒的生长控制方法、装置、介质以及单晶炉 | 发明专利 | 公布 | CN202511905877.X | 2025-12-17 | CN121951677A | 2026-05-01 | 潘浩、崔源进、张鹏举 |
| 11 | 一种晶圆清洁系统及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511907326.7 | 2025-12-17 | CN121969052A | 2026-05-01 | 康建 |
| 12 | 线切割装置及线切割取样方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511899233.4 | 2025-12-16 | CN121403584A | 2026-01-27 | 王晋飞 |
| 13 | 一种电阻率测试装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511897839.4 | 2025-12-16 | CN121917845A | 2026-04-24 | 贺鹏 |
| 14 | 清洗设备、清洗方法、清洗装置、控制设备、产品及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511866027.3 | 2025-12-11 | CN121665982A | 2026-03-13 | 张树星、陈海龙、夏新超、左斌 |
| 15 | 一种拉晶装置及拉晶方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511869249.0 | 2025-12-11 | CN121781273A | 2026-04-03 | 闫龙、张鹏举、吴超、纪天平、李智超 |
| 16 | 热场调节装置、单晶炉和热场调节方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511856243.X | 2025-12-10 | CN121344772A | 2026-01-16 | 黄文洋 |
| 17 | 一种籽晶倾斜检测方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511855413.2 | 2025-12-10 | CN121366283A | 2026-01-20 | 彭标、孙洪涛 |
| 18 | 一种晶棒切割装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511858998.3 | 2025-12-10 | CN121572470A | 2026-02-27 | 王磊磊、霍慧文、刘士靖、刘倩 |
| 19 | 一种砂轮参数确定方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511854835.8 | 2025-12-10 | CN121580854A | 2026-02-27 | 李彤、兰洵、袁力军、李安杰、张婉婉 |
| 20 | 一种拉晶收尾的控制方法及系统 | 发明专利 | 公布 | CN202511858477.8 | 2025-12-10 | CN121826878A | 2026-04-10 | 纪天平、彭标、闫龙 |
| 21 | 一种晶圆的检测方法、系统及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511859289.7 | 2025-12-10 | CN121908854A | 2026-04-21 | 史铁柱、庞鲁、王龙 |
| 22 | 半导体设备的检验方法、装置、设备、系统及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511854133.X | 2025-12-10 | CN121978104A | 2026-05-05 | 李康康 |
| 23 | 缺陷晶圆的拦截方法、装置、设备及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511842176.6 | 2025-12-09 | CN121969119A | 2026-05-01 | 程瑜、贺鑫、胡一洲、万珣 |
| 24 | 晶圆检测方法及相关装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511837367.3 | 2025-12-08 | CN121665979A | 2026-03-13 | 吕天爽 |
| 25 | 晶棒长度的确定方法、装置、介质及晶体生长系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840689.3 | 2025-12-08 | CN121874923A | 2026-04-17 | 赵亮 |
| 26 | 一种单片清洗装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840630.4 | 2025-12-08 | CN121888884A | 2026-04-17 | 左斌、陈海龙、王颖、张树星、夏新超 |
| 27 | 硅片研磨的生产系统、控制方法和装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840651.6 | 2025-12-08 | CN121870626A | 2026-04-17 | 王琛、张宁轩、黄兆皓 |
| 28 | 硅生长轴连接装置、硅生长系统及埚转偏差协同补偿方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840788.1 | 2025-12-08 | CN121874924A | 2026-04-17 | 彭标、孙洪涛 |
| 29 | 一种晶圆的检测方法、系统及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511840660.5 | 2025-12-08 | CN121925097A | 2026-04-24 | 史铁柱、庞鲁、王龙 |
| 30 | 单晶硅的拉晶控制方法、装置及相关设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511826516.6 | 2025-12-05 | CN121538725A | 2026-02-17 | 杨松、赵亮 |
| 31 | 绝缘体上硅衬底及其制备方法、射频绝缘体上硅晶圆 | 发明专利 | 公布 | CN202511830184.9 | 2025-12-05 | CN121908606A | 2026-04-21 | 张博、兰洵、车宇航、王文娟、刘贵浩 |
| 32 | 晶圆的清洗方法、设备、以及晶圆 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511815254.3 | 2025-12-04 | CN121604750A | 2026-03-03 | 党快乐、兰洵 |
| 33 | 一种双面抛光方法、双面抛光设备及硅片 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511817716.5 | 2025-12-04 | CN121870547A | 2026-04-17 | 郭宏雁、陈祖庆 |
| 34 | 硅片切割线痕判定方法及装置、电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511772774.0 | 2025-11-28 | CN121374876A | 2026-01-23 | 王黎昱、陈曦鹏 |
| 35 | 一种外延片边缘形貌补偿型晶圆双面抛光装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511770029.2 | 2025-11-28 | CN121535652A | 2026-02-17 | 王俊夫 |
| 36 | 晶圆处理方法及装置、电子设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511775486.0 | 2025-11-28 | CN121548286A | 2026-02-17 | 张城旗、苏艳宁、王黎昱 |
| 37 | 晶圆检测与标识的设备、方法及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511775182.4 | 2025-11-28 | CN121865898A | 2026-04-14 | 李乐杰、张钊、范东方、陈建勇 |
| 38 | 半导体晶圆及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511779796.X | 2025-11-28 | CN121865669A | 2026-04-14 | 刘贵浩、兰洵、车宇航、王文娟、张博 |
| 39 | 一种用于晶棒生长的控制装置、方法以及拉晶炉 | 发明专利 | 公布 | CN202511762453.2 | 2025-11-27 | CN121556142A | 2026-02-24 | 蔡媛媛 |
| 40 | 化学机械抛光设备及抛光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511755819.3 | 2025-11-27 | CN121696842A | 2026-03-20 | 王泽康 |
| 41 | 改善晶圆平坦度的方法、装置、设备、系统及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511766166.9 | 2025-11-27 | CN121756221A | 2026-03-31 | 习恒 |
| 42 | 一种基于重力自适应限位的晶圆边缘刻蚀装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511761617.X | 2025-11-27 | CN121843479A | 2026-04-10 | 郝宁、程辰辰 |
| 43 | 一种抛光垫及晶圆抛光方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511766031.2 | 2025-11-27 | CN121821202A | 2026-04-10 | 王俊夫、柴朝军 |
| 44 | 硅片线痕检测方法、装置、存储介质及电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511767321.9 | 2025-11-27 | CN121888926A | 2026-04-17 | 张申申 |
| 45 | 载具搬运方法、系统、装置及计算设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511764667.3 | 2025-11-27 | CN121925077A | 2026-04-24 | 李迅、范东方、王贵石、张更 |
| 46 | 一种具有集成式温度补偿的双面抛光系统及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511755203.6 | 2025-11-26 | CN121552239A | 2026-02-24 | 王俊夫 |
| 47 | 一种拉晶收尾控制方法、装置、设备及计算机存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511755172.4 | 2025-11-26 | CN121629510A | 2026-03-10 | 刘锦章 |
| 48 | 单晶硅棒的磨削控制方法、装置、存储介质及电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511759290.2 | 2025-11-26 | CN121733370A | 2026-03-27 | 闫旭斌 |
| 49 | 晶圆生产的控制方法、装置、设备、系统及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511755100.X | 2025-11-26 | CN121865897A | 2026-04-14 | 赵恒、范东方、陈建勇、张钊 |
| 50 | 一种晶圆的清洗控制方法、设备、晶圆及计算机存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511742590.X | 2025-11-25 | CN121620113A | 2026-03-06 | 党快乐、兰洵 |
天眼查数据显示,西安奕斯伟硅片技术有限公司成立日期2018年2月9日,法定代表人刘还平,所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业,企业规模为中型,注册资本660000万人民币,实缴资本660000万人民币,注册地址为陕西省西安市高新区西沣南路1888号。西安奕斯伟硅片技术有限公司共对外投资了0家企业,参与招投标项目379次,财产线索方面有商标信息0条,专利信息1063条,拥有行政许可54个。
西安奕斯伟硅片技术有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 晶棒处理设备和晶棒处理方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610120374.X | 2026-01-28 | CN121945472A | 2026-05-01 | 郭宏雁、黄兆皓 |
| 2 | 晶圆检测设备和晶圆检测方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511904874.4 | 2025-12-17 | CN121678673A | 2026-03-17 | 薛博涛、陈光林、刘玉乾、黄兆皓 |
| 3 | 一种电阻率测试装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511897839.4 | 2025-12-16 | CN121917845A | 2026-04-24 | 贺鹏 |
| 4 | 一种拉晶装置及拉晶方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511869249.0 | 2025-12-11 | CN121781273A | 2026-04-03 | 闫龙、张鹏举、吴超、纪天平、李智超 |
| 5 | 热场调节装置、单晶炉和热场调节方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511856243.X | 2025-12-10 | CN121344772A | 2026-01-16 | 黄文洋 |
| 6 | 一种晶棒切割装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511858998.3 | 2025-12-10 | CN121572470A | 2026-02-27 | 王磊磊、霍慧文、刘士靖、刘倩 |
| 7 | 一种拉晶收尾的控制方法及系统 | 发明专利 | 公布 | CN202511858477.8 | 2025-12-10 | CN121826878A | 2026-04-10 | 纪天平、彭标、闫龙 |
| 8 | 一种晶圆的检测方法、系统及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511859289.7 | 2025-12-10 | CN121908854A | 2026-04-21 | 史铁柱、庞鲁、王龙 |
| 9 | 半导体设备的检验方法、装置、设备、系统及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511854133.X | 2025-12-10 | CN121978104A | 2026-05-05 | 李康康 |
| 10 | 缺陷晶圆的拦截方法、装置、设备及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511842176.6 | 2025-12-09 | CN121969119A | 2026-05-01 | 程瑜、贺鑫、胡一洲、万珣 |
| 11 | 硅片研磨的生产系统、控制方法和装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840651.6 | 2025-12-08 | CN121870626A | 2026-04-17 | 王琛、张宁轩、黄兆皓 |
| 12 | 一种晶圆的检测方法、系统及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511840660.5 | 2025-12-08 | CN121925097A | 2026-04-24 | 史铁柱、庞鲁、王龙 |
| 13 | 一种外延片边缘形貌补偿型晶圆双面抛光装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511770029.2 | 2025-11-28 | CN121535652A | 2026-02-17 | 王俊夫 |
| 14 | 晶圆检测与标识的设备、方法及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511775182.4 | 2025-11-28 | CN121865898A | 2026-04-14 | 李乐杰、张钊、范东方、陈建勇 |
| 15 | 一种基于重力自适应限位的晶圆边缘刻蚀装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511761617.X | 2025-11-27 | CN121843479A | 2026-04-10 | 郝宁、程辰辰 |
| 16 | 一种抛光垫及晶圆抛光方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511766031.2 | 2025-11-27 | CN121821202A | 2026-04-10 | 王俊夫、柴朝军 |
| 17 | 硅片线痕检测方法、装置、存储介质及电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511767321.9 | 2025-11-27 | CN121888926A | 2026-04-17 | 张申申 |
| 18 | 载具搬运方法、系统、装置及计算设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511764667.3 | 2025-11-27 | CN121925077A | 2026-04-24 | 李迅、范东方、王贵石、张更 |
| 19 | 一种具有集成式温度补偿的双面抛光系统及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511755203.6 | 2025-11-26 | CN121552239A | 2026-02-24 | 王俊夫 |
| 20 | 晶圆生产的控制方法、装置、设备、系统及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511755100.X | 2025-11-26 | CN121865897A | 2026-04-14 | 赵恒、范东方、陈建勇、张钊 |
| 21 | 确定硅片放置方向的方法、装置、设备及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511722852.6 | 2025-11-21 | CN121837362A | 2026-04-10 | 李康康 |
| 22 | 一种包装袋折袋装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511711385.7 | 2025-11-20 | CN121536561A | 2026-02-17 | 李毅波、苏建生、韩嘉豪、王奕杰 |
| 23 | 在双面抛光中抑制晶圆划伤的系统、方法及双面抛光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511711576.3 | 2025-11-20 | CN121589713A | 2026-03-03 | 王俊夫 |
| 24 | 晶棒拉速的优化方法、装置、设备及计算机存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511712015.5 | 2025-11-20 | CN121903418A | 2026-04-21 | 秦浩、庞鲁、王龙、同嘉锡 |
| 25 | 一种清洗装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511659712.9 | 2025-11-13 | CN121468400A | 2026-02-06 | 蔡培锋、周勤学 |
| 26 | 一种调整双面抛光设备参数的方法、装置和介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511664476.X | 2025-11-13 | CN121832444A | 2026-04-10 | 王俊夫、周勤学、王龙飞、杨轩、马驰 |
| 27 | 用于检测物体表面缺陷的方法、装置、系统及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511655376.0 | 2025-11-12 | CN121740778A | 2026-03-27 | 付子成、党志伟 |
| 28 | 用于抛光载盘的预清洗装置、自适应抛光系统及清洗方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511645965.0 | 2025-11-11 | CN121821244A | 2026-04-10 | 王俊夫 |
| 29 | 改善抛光垫平坦度的方法、双面抛光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511602298.8 | 2025-11-04 | CN121132500A | 2025-12-16 | 杨轩、柴朝军、马驰、王俊夫、邢东 |
| 30 | 工艺腔室的判定方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511592258.X | 2025-11-03 | CN121443034A | 2026-01-30 | 孙毅、韩喜盈 |
| 31 | 用于抛光垫的检测及清洗装置、方法及抛光设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511551473.5 | 2025-10-28 | CN121670508A | 2026-03-17 | 马驰、杨轩、王俊夫 |
| 32 | 校准系统及校准方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511515728.2 | 2025-10-22 | CN121666003A | 2026-03-13 | 杨舒乐 |
| 33 | 硅片处理装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511499502.8 | 2025-10-20 | CN121665970A | 2026-03-13 | 郭宏雁、郝胤祚、马成琛、冯智、赵栋、贾晓东 |
| 34 | 研磨盘的平坦度测量装置及研磨盘的平坦度测量方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511479663.0 | 2025-10-16 | CN121083517A | 2025-12-09 | 樊明溪、孙介楠、李龙、张鑫 |
| 35 | 一种硅片加工方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511480666.6 | 2025-10-16 | CN121310863A | 2026-01-09 | 蔡培锋、周勤学 |
| 36 | 砂轮修整设备、砂轮修整方法、装置、设备、产品及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511418705.X | 2025-09-30 | CN121104902A | 2025-12-12 | 朱海海 |
| 37 | 抛光垫清洗装置及抛光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511425890.5 | 2025-09-30 | CN121267779A | 2026-01-06 | 王俊夫、马驰、杨轩 |
| 38 | 一种硅片缺陷检测方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511418677.1 | 2025-09-30 | CN121358253A | 2026-01-16 | 史铁柱、庞鲁、王龙、贺鹏、原宇乐 |
| 39 | 晶圆的金属水平检测方法、装置、设备及计算机存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511426097.7 | 2025-09-30 | CN121510933A | 2026-02-10 | 高坤、林可、李康康 |
| 40 | 一种用于检测薄膜沉积异常的装置和方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511347420.1 | 2025-09-19 | CN121443032A | 2026-01-30 | 程辰辰、郝宁 |
| 41 | 硅片边缘刻蚀装置和硅片边缘刻蚀方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511297217.8 | 2025-09-11 | CN121149050A | 2025-12-16 | 贾帅、王力 |
| 42 | 外延反应腔室恢复方法和外延生长装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511274241.X | 2025-09-08 | CN121137798A | 2025-12-16 | 韩喜盈、张海博、金柱炫、孙毅、刘凯 |
| 43 | 晶圆加工设备的状态检测方法、装置、设备及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511219751.7 | 2025-08-28 | CN121275374A | 2026-01-06 | 李昊、刘永亮、胡斌 |
| 44 | 一种外延生长设备和外延生长方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511206362.0 | 2025-08-27 | CN121250545A | 2026-01-02 | 马成琛、郭盾、贾晓东、郝胤祚 |
| 45 | 一种拦截策略确定方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511189436.4 | 2025-08-25 | CN121051383A | 2025-12-02 | 马强强、万珣 |
| 46 | 一种标签检测方法、装置、设备及计算机存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511111982.6 | 2025-08-08 | CN121190956A | 2025-12-23 | 叶森、冯智、郭盾、赵栋、郝胤祚 |
| 47 | 晶圆的处理方法及装置、电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511102765.0 | 2025-08-07 | CN120854308A | 2025-10-28 | 杨震、王雷、王琳 |
| 48 | 用于晶圆收纳盒的净化装置及晶圆收纳盒组件 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511092282.7 | 2025-08-05 | CN121130583A | 2025-12-16 | 赵栋、叶森、郝胤祚、冯智 |
| 49 | 一种硅片处理方法、装置、处理设备、程序产品及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510965838.2 | 2025-07-14 | CN120895461A | 2025-11-04 | 郭宏雁、陈光林、周伟、张立易、周国庆 |
| 50 | 双面研磨装置和双面研磨方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510863147.1 | 2025-06-25 | CN120461314A | 2025-08-12 | 郭宏雁、王俊夫 |
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