4月23日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）收盘跌1.19%，成交额13.70亿元。
半导体设备ETF国泰（159516）成立于2023年7月19日，基金全称为国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为国泰中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。半导体设备ETF国泰（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率。
规模方面，截止4月22日，半导体设备ETF国泰（159516）最新份额为234.65亿份，最新规模为216.56亿元。回顾2025年12月31日，半导体设备ETF国泰（159516）份额为58.53亿份，规模为90.11亿元。即该基金今年以来份额增加300.94%，规模增加140.32%。
流动性方面，截止4月23日，半导体设备ETF国泰（159516）近20个交易日累计成交金额248.46亿元，日均成交金额12.42亿元；今年以来，72个交易日，累计成交金额1115.56亿元，日均成交金额15.49亿元。
半导体设备ETF国泰（159516）现任基金经理为艾小军。艾小军自2023年7月19日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益84.58%。
最新定期报告显示，半导体设备ETF国泰（159516）重仓股包括中微公司、北方华创、拓荆科技、长川科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、南大光电、江丰电子、安集科技，持仓占比如下。
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688012 | 中微公司 | 14.84% | 936.51万 | 28.67亿 |
| 002371 | 北方华创 | 12.92% | 558.68万 | 24.97亿 |
| 688072 | 拓荆科技 | 7.36% | 384.46万 | 14.22亿 |
| 300604 | 长川科技 | 6.34% | 1011.80万 | 12.25亿 |
| 688120 | 华海清科 | 5.08% | 564.24万 | 9.81亿 |
| 688126 | 沪硅产业 | 3.82% | 4368.95万 | 7.38亿 |
| 688361 | 中科飞测 | 3.77% | 478.90万 | 7.28亿 |
| 300346 | 南大光电 | 3.67% | 1571.09万 | 7.09亿 |
| 300666 | 江丰电子 | 3.49% | 483.69万 | 6.73亿 |
| 688019 | 安集科技 | 3.49% | 268.85万 | 6.74亿 |
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