数据显示，4月14日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)遭净赎回846.69万元，位居当日股票ETF净流出排名202/1158。最新规模5.44亿元，前一日规模5.34亿元，当日资金净流出额占前一日规模的比例为1.59%。
近5日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)遭净赎回3012.28万元，位居股票ETF净流出排名第277/1158。近10日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)遭净赎回684.69万元，位居股票ETF净流出排名第502/1158。近20日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)遭净赎回4055.04万元，位居股票ETF净流出排名第322/1158。
鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）成立于2025年8月27日，基金全称为鹏华上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为鹏华科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。
规模方面，截止4月14日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）最新份额为3.84亿份，最新规模为5.44亿元。回顾2025年12月31日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）份额为2.44亿份，规模为2.97亿元。即该基金今年以来份额增加57.33%，规模增加83.35%。
流动性方面，截止4月14日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）近20个交易日累计成交金额7.72亿元，日均成交金额3858.25万元；今年以来，65个交易日，累计成交金额42.72亿元，日均成交金额6571.86万元。
鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）现任基金经理为林嵩。林嵩自2025年8月27日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益41.67%。
最新定期报告显示，鹏华基金（589020）重仓股包括中微公司、拓荆科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、安集科技、芯源微、天岳先进、华峰测控、盛美上海，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688012 | 中微公司 | 10.90% | 11.86万 | 3235.52万 |
| 688072 | 拓荆科技 | 9.78% | 8.80万 | 2904.49万 |
| 688120 | 华海清科 | 9.37% | 18.53万 | 2780.82万 |
| 688126 | 沪硅产业 | 9.16% | 125.64万 | 2718.87万 |
| 688361 | 中科飞测 | 8.11% | 15.74万 | 2407.57万 |
| 688019 | 安集科技 | 6.47% | 8.81万 | 1920.49万 |
| 688037 | 芯源微 | 6.04% | 12.08万 | 1794.22万 |
| 688234 | 天岳先进 | 4.81% | 16.08万 | 1429.11万 |
| 688200 | 华峰测控 | 4.54% | 7.09万 | 1349.01万 |
| 688082 | 盛美上海 | 4.26% | 7.18万 | 1263.56万 |
跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20260414 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20260414 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 588170 | 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF | 83.96 | 6.97 | -1.40 | -5.27 | -5.97 | 华夏基金 |
| 588710 | 华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF | 15.41 | 1.33 | -0.69 | -1.13 | -2.04 | 华泰柏瑞基金 |
| 589020 | 鹏华科创板半导体材料设备主题ETF | 5.44 | 0.39 | -0.08 | -0.30 | -0.46 | 鹏华基金 |
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