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诺博尔稀贵金属取得钽靶坯制备法相关专利,该方法制备钽靶坯组织均匀,满足镀膜要求

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4月9日消息,国家知识产权局信息显示,西安诺博尔稀贵金属材料股份有限公司申请一项名为“一种组织织构高均匀钽靶坯的制备方法”的专利,授权公告号CN119549988B,授权公告日为2026年4月7日。申请公布号为CN119549988A,申请号为CN202411590021.3,申请公布日期为2026年4月7日,申请日期为2024年11月8日,发明人吴昊、贾志强、肖胜、陈昊、张龙、王飞宇,专利代理机构西安启诚专利知识产权代理事务所(普通合伙),专利代理师冯亮,分类号B23P15/00、C22F1/18、C23C14/34。

专利摘要显示,本发明公开了一种组织织构高均匀钽靶坯的制备方法,该方法包括:对电子束熔炼的高纯钽依次进行一次锻造、二次锻造和三次锻造,然后对三次锻造后的高纯钽进行一次交叉轧制得到中间靶坯;最后对中间靶坯沿厚度方向上平均切分后进行二次交叉轧制得到钽靶坯。本发明采用上述方法制备得到的钽靶坯微观组织细小,取向分布均匀,沿钽靶坯厚度方向上,平均晶粒尺寸≤60μm,{100}织构占比≥35%,{111}织构占比≤30%,并且制备的钽靶坯直径≥500mm,厚度≥10mm,能够满足12英寸晶圆的溅射镀膜要求。

天眼查数据显示,西安诺博尔稀贵金属材料股份有限公司成立日期2010年3月18日,法定代表人陈昊,所属行业为有色金属冶炼和压延加工业,企业规模为小型,注册资本9600万人民币,实缴资本7600万人民币,注册地址为西安经济技术开发区泾渭新城泾高北路中段18号。西安诺博尔稀贵金属材料股份有限公司共对外投资了0家企业,参与招投标项目234次,财产线索方面有商标信息38条,专利信息84条,拥有行政许可28个。

西安诺博尔稀贵金属材料股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种工业级大尺寸均质钽钨合金铸锭的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510800699.82025-06-16CN120591575A2025-09-05郝小雷、陈昊、张锟宇、李蛟、宜楠
2一种研究金属铪挤压比与组织关系的方法和挤压模具发明专利实质审查的生效、公布CN202510028121.52025-01-08CN119525307A2025-02-28蔡文博、余志国、沈大吉、薛晶晶、陈昊
3一种高效低成本铪棒的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510028041.X2025-01-08CN119525310A2025-02-28蔡文博、薛晶晶、余志国、沈大吉、陈昊
4一种铌及铌合金毛细管的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411922927.02024-12-25CN119703646A2025-03-28韩军、朱绍珍、夏雨、王玉鹏、杨旗、王磊、肖东、张亮亮、李澎勃、郑学军、陈昊、孟志军、张锟宇、宜楠、权振兴
5一种低成本高性能钽合金板材的加工方法发明专利授权CN202411777265.22024-12-05CN119566727B2026-01-09郝小雷、陈昊、姚修楠、张锟宇、王飞、宜楠、肖胜、刘倚天
6一种高品质大规格铌钨合金板材的制备方法发明专利授权CN202411777390.32024-12-05CN119566728B2026-01-09郝小雷、陈昊、王飞宇、胡淑娟、郑梗梗、姚修楠、王飞、张锟宇
7一种高纯银锂合金靶材及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411742163.72024-11-29CN119685765A2025-03-25陈昊、何兴群、周龙海、沈大吉、郑学军、马小龙、余建军、刘开强、丁锋
8一种组织织构高均匀钽靶坯的制备方法发明专利授权CN202411590021.32024-11-08CN119549988B2026-04-07吴昊、贾志强、肖胜、陈昊、张龙、王飞宇
9一种电接触金合金厚壁细管材制备方法发明专利公布CN202411173150.22024-08-26CN118905573A2024-11-08周龙海、陈昊、何兴群、孟志军、余建军、马晓东、李旭
10一种高纯钽靶材金相样品的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202410471791.X2024-04-19CN118347813A2024-07-16吴昊、张龙、贾志强、赵雪雪、刘杨、陈昊
11制备钯合金薄带用真空连铸设备和制备钯合金薄带的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202410105232.72024-01-25CN118080800A2024-05-28何兴群、周龙海、赵涛、马小龙、刘开强、沈大吉、陈昊
12一种贵金属磨损微屑的电镜试样制备及分析方法发明专利实质审查的生效、公布CN202311819290.82023-12-27CN117825424A2024-04-05陈昊、周龙海、何兴群、贾志强、王浩楠、赵涛
13提高GNPs/Mg复合材料界面结合和力学性能的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202310624201.82023-05-30CN117862496A2024-04-12吴昊、贾志强、王浩楠、张龙、陈昊、周龙海、刘杨
14一种碳化钛和硼化钛增强钛基层状复合材料的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202310624199.42023-05-30CN117867314A2024-04-12吴昊、贾志强、张龙、于佳石、陈昊、周龙海、刘杨
15一种薄壁管热处理用垂直热处理组件及应用方法发明专利授权、著录事项变更、公布CN202310140219.02023-02-20CN116121523B2025-04-04韩军、王磊、朱绍珍、肖胜、雷博、李光辉、郭兴、王建晨、刘林科、于文飞、谢逢锦
16一种氢气净化用金属箔材及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202310058359.32023-01-18CN116476466A2023-07-25朱绍珍、范文杰、韩军、贾志强、王航、陈昊
17一种细晶/超细晶结构铌合金材料的制备方法发明专利授权、公布CN202211724439.X2022-12-30CN116083822B2024-12-10王浩楠、陈昊、焦军臣、贾志强、周龙海、姚修楠
18一种从钼铜合金废料中回收钼和铜的方法发明专利发明专利申请公布后的视为撤回、实质审查的生效、公布CN202211578904.32022-12-06CN115747882A2023-03-07王涵睿、廖磊、史智锋、张伟哲、陈昊、郑学军、沈大吉、董蔚
19一种利用钼铜合金废料生产钼酸钠化合物的方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202211558720.02022-12-06CN116022848A2023-04-28王涵睿、张伟哲、史智锋、沈大吉、纪光、廖磊、李佩琪、范文博
20一种铂/铌复合板与铌螺杆的焊接方法发明专利授权CN202211437140.62022-11-17CN115770933B2025-07-08焦军臣、王浩楠、周龙海、姚修楠、韩吉庆
21一种核电用薄壁不锈钢管制备方法发明专利授权、公布CN202211437120.92022-11-17CN115716088B2025-10-17韩军、王磊、宜楠、张君彦、薛晶晶、李红宇、张亮亮、肖东、高恒、李卫东
22核电用时效硬化型Ni-Cr-Fe基合金板材的制备方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202210984244.22022-08-17CN115404325A2022-11-29李红宇、余志国、黄明月、沈大吉、王飞、刘倚天、陈昊
23一种Ni基合金管的离心铸造模具及离心铸造方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202210912686.62022-07-30CN115351257A2022-11-18范晔、孟志军、丁锋、贺慧、孙凯军、赵晓博、陈昊、韩吉庆
24感应炉用坩埚组件及其制备方法发明专利授权、公布CN202210915381.02022-07-30CN115388652B2025-04-22范晔、丁锋、何健、孟志军、赵晓博、王宏宇、陈昊、韩吉庆
25一种高精度细径薄壁镍钛合金管材的制备方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202210373784.72022-04-11CN114850219B2023-10-27朱绍珍、谯小瑜、胡彦敏、薛晶晶、纪光
26一种贵金属导电环材加工工装及加工方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202111595744.92021-12-23CN114310390B2023-04-07周龙海、孟志军、贾志强、丁锋、刘嘉伟、马小龙、廖俊俊、陈昊
27一种改善铌钨合金铸锭成分均匀性的方法发明专利授权、公布CN202111531123.42021-12-15CN114277255B2024-05-14郝小雷、张锟宇、刘倚天、王飞、宜楠、李蛟、文琳、陈昊
28一种从银铟镉合金废料中回收银、铟、镉的方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202110132101.42021-01-31CN113005292B2023-01-17史智锋、郑学军、王涵睿、陈昊、孟志军、张伟哲、张骥、董蔚、蔡兴顺
29一种制备金锡合金箔材的方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202110084587.92021-01-21CN113000601B2023-05-23郑学军、朱绍珍、周龙海、丁锋、范晔
30一种用于双枪双进料系统电子束熔炼炉的磁屏蔽系统发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202011268727.X2020-11-13CN112410575B2023-01-24贾志强、李蛟、朱绍珍、周龙海、文琳
31一种优化钽板材晶粒尺寸和均匀性的方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202011255248.42020-11-11CN112410699B2022-05-27郝小雷、刘倚天、宜楠、武宇、张锟宇、权振兴、王飞、陈昊
32一种消除银铜合金铸锭易偏析的方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202011225304.X2020-11-05CN112391546A2021-02-23赵涛、丁锋、孟志军、周龙海、王航、马小龙、范晔
33一种金合金包铜复合丝的制备方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202010793935.52020-08-10CN112170511B2022-08-19周龙海、陈昊、朱绍珍、马晓东、范晔、余建军、赵涛
34一种制备银铜锌锡钎料带材的方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202010590743.42020-06-24CN111906158B2022-05-27朱绍珍、邢健、赵涛、丁锋、马小龙、马晓东、王飞
35一种制备航天用高精度小口径TA2管材的方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202010383372.22020-05-08CN111496008B2022-04-08张凯悦、姚修楠、蔡文博、譙小瑜、武宇、张锟宇、张录强
36一种管材自动清洗设备料框用可调节固定装置实用新型授权CN202020014552.92020-01-03CN211679128U2020-10-16张凯悦、焦军臣、武宇、高永伟
37一种真空熔炼炉的炉气处理装置及处理方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN201911277070.02019-12-12CN110917790A2020-03-27薛晶晶、陈昊、沈大吉、孙海霞、丁锋、吕棋、韩吉庆、孙毅、王涛
38一种银基合金棒材加工用夹具及加工方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN201911276032.32019-12-12CN111015277B2021-10-26薛晶晶、陈昊、沈大吉、孙海霞、邹辉、邢健、李小刚、张乔、韩吉庆
39利用内表面加工装置对纯银管材内表面进行加工的方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN201911245771.62019-12-07CN110918663B2021-02-02周龙海、余建军、马晓东、韩军、李旭、赵涛、吕雨红、陈昊
40一种铪腐蚀板型监测样及其制备方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN201911209130.52019-11-30CN110907243B2022-05-27蔡文博、姚修楠、陈昊、赵鸿磊、张录强、陈俊喜、刘西锋、范晔、邢健
41一种高力学性能奥氏体不锈钢弹簧丝材的制备方法发明专利专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权、实质审查的生效、公布CN201811511014.42018-12-11CN109482667B2019-12-03邢健、陈昊、沈大吉、蔡文博、李红宇、薛晶晶、周龙海、邹辉
42一种金银铜合金铸锭的制备方法发明专利专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权、实质审查的生效、公布CN201811510982.32018-12-11CN109396364B2020-05-26赵涛、丁峰峰、王航、史智峰、范晔、周晓、周龙海、孟志军、马小龙、李永娣、张小英、陈昊、韩吉庆
43一种回收金银铜合金废料中金和银的方法发明专利授权、著录事项变更、实质审查的生效、发明专利申请公布CN201811512540.22018-12-11CN109402402B2020-08-18王涵睿、史智锋、贺慧、马李思思、马晓东、于妍、赵涛、孟志军、吴永强、董蔚、蔡兴顺、李海军
44一种核电用410不锈钢带材的制备方法发明专利授权、著录事项变更、实质审查的生效、发明专利申请公布CN201811512548.92018-12-11CN109675927B2021-04-13刘倚天、李红宇、李俊、张锟宇、王飞、甘晓利、徐伟、杨晓维、韩吉庆、陈昊
45一种高锰含量铜锰中间合金的真空感应熔炼方法发明专利专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权、实质审查的生效、公布CN201810287173.42018-03-31CN108411151B2019-07-09赵涛、 孟志军、 何健、 范晔、 孙凯军、 赵小波、 史智峰、 王航、 王宏宇、 陈勇、 韩吉庆、 陈昊
46一种铂合金熔炼用坩埚的制备方法发明专利授权、著录事项变更、实质审查的生效、公布CN201810287674.22018-03-31CN108455971B2020-06-19孟志军、赵涛、贾志强、史智峰、孙凯军、赵小波、范晔、王宏宇、陈勇、贾勇、陈昊
47一种气体保护热张力矫直设备及钴丝材矫直方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、发明专利申请公布CN201711324934.02017-12-13CN108031772A2018-05-15周龙海、韩吉庆、李宇、蔡文博、陈昊、赵涛、马晓东
48一种堆内中子吸收组件用金属铪管材的制备方法发明专利专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权、实质审查的生效、公布CN201711315485.32017-12-09CN108097737B2019-08-27武宇、刘杨、姚修楠、茄军、李俊、张录强、赵鸿磊、韩吉庆、董璞、陈昊
49一种等原子比的PtCo合金金相组织的观测方法发明专利发明专利申请公布后的视为撤回、实质审查的生效、发明专利申请公布CN201711242353.22017-11-30CN107727476A2018-02-23赵涛、余建军、孟志军、贾志强、毛明、韩吉庆、陈昊、宜楠、马晓东、李宇
50一种管材拉拔润滑装置及管材拉拔加工方法发明专利著录事项变更、授权、实质审查的生效、公布CN201711178584.12017-11-23CN107990135B2020-06-16邢健、陈昊、周龙海、沈大吉、孙海霞、韩军、李红宇、韩吉庆

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