4月3日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）收盘跌0.25%，成交额6.20亿元。
半导体设备ETF国泰（159516）成立于2023年7月19日，基金全称为国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为国泰中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。半导体设备ETF国泰（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率。
规模方面，截止4月2日，半导体设备ETF国泰（159516）最新份额为239.47亿份，最新规模为192.30亿元。回顾2025年12月31日，半导体设备ETF国泰（159516）份额为58.53亿份，规模为90.11亿元。即该基金今年以来份额增加309.17%，规模增加113.40%。
流动性方面，截止4月3日，半导体设备ETF国泰（159516）近20个交易日累计成交金额229.22亿元，日均成交金额11.46亿元；今年以来，59个交易日，累计成交金额933.68亿元，日均成交金额15.83亿元。
半导体设备ETF国泰（159516）现任基金经理为艾小军。艾小军自2023年7月19日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益65.80%。
最新定期报告显示，半导体设备ETF国泰（159516）重仓股包括北方华创、中微公司、拓荆科技、长川科技、沪硅产业、华海清科、中科飞测、南大光电、安集科技、芯源微，持仓占比如下。
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 002371 | 北方华创 | 14.47% | 284.08万 | 13.04亿 |
| 688012 | 中微公司 | 11.93% | 394.09万 | 10.75亿 |
| 688072 | 拓荆科技 | 7.08% | 193.27万 | 6.38亿 |
| 300604 | 长川科技 | 5.76% | 513.81万 | 5.19亿 |
| 688126 | 沪硅产业 | 5.31% | 2211.13万 | 4.78亿 |
| 688120 | 华海清科 | 4.75% | 286.67万 | 4.28亿 |
| 688361 | 中科飞测 | 4.11% | 242.06万 | 3.70亿 |
| 300346 | 南大光电 | 3.78% | 793.62万 | 3.40亿 |
| 688019 | 安集科技 | 3.26% | 134.65万 | 2.93亿 |
| 688037 | 芯源微 | 3.06% | 185.50万 | 2.75亿 |
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