数据显示，3月31日，广发中证半导体材料设备ETF(560780)获净申购4409.65万元，位居当日股票ETF净流入排名49/1153。最新规模33.61亿元，前一日规模34.51亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为1.28%。
近5日，广发中证半导体材料设备ETF(560780)遭净赎回8009.99万元，位居股票ETF净流出排名第96/1153。近10日，广发中证半导体材料设备ETF(560780)遭净赎回2.39亿元，位居股票ETF净流出排名第74/1153。近20日，广发中证半导体材料设备ETF(560780)获净申购2.03亿元，位居股票ETF净流入排名第83/1153。
广发中证半导体材料设备ETF（560780）成立于2023年12月1日，基金全称为广发中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为广发中证半导体材料设备ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。广发中证半导体材料设备ETF（560780）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。
规模方面，截止3月31日，广发中证半导体材料设备ETF（560780）最新份额为18.67亿份，最新规模为33.61亿元。回顾2025年12月31日，广发中证半导体材料设备ETF（560780）份额为8.73亿份，规模为14.79亿元。即该基金今年以来份额增加113.80%，规模增加127.27%。
流动性方面，截止3月31日，广发中证半导体材料设备ETF（560780）近20个交易日累计成交金额26.11亿元，日均成交金额1.31亿元；今年以来，56个交易日，累计成交金额100.89亿元，日均成交金额1.8亿元。
广发中证半导体材料设备ETF（560780）现任基金经理为吕鑫。吕鑫自2025年4月30日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益58.06%。
最新定期报告显示，广发基金（560780）重仓股包括北方华创、中微公司、拓荆科技、长川科技、沪硅产业、华海清科、中科飞测、南大光电、安集科技、芯源微，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 002371 | 北方华创 | 13.97% | 45.02万 | 2.07亿 |
| 688012 | 中微公司 | 13.49% | 73.16万 | 2.00亿 |
| 688072 | 拓荆科技 | 6.98% | 31.28万 | 1.03亿 |
| 300604 | 长川科技 | 5.63% | 82.18万 | 8325.66万 |
| 688126 | 沪硅产业 | 5.19% | 354.49万 | 7671.12万 |
| 688120 | 华海清科 | 4.59% | 45.26万 | 6792.53万 |
| 688361 | 中科飞测 | 3.95% | 38.20万 | 5844.05万 |
| 300346 | 南大光电 | 3.70% | 127.65万 | 5476.01万 |
| 688019 | 安集科技 | 3.11% | 21.11万 | 4599.31万 |
| 688037 | 芯源微 | 2.93% | 29.17万 | 4332.41万 |
跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20260331 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20260331 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 159516 | 国泰中证半导体材料设备主题ETF | 193.23 | 12.03 | 0.25 | -11.41 | -7.12 | 国泰基金 |
| 159558 | 易方达中证半导体材料设备主题ETF | 46.40 | 2.79 | -3.26 | -1.51 | -0.43 | 易方达基金 |
| 560780 | 广发中证半导体材料设备ETF | 33.61 | 1.31 | 0.44 | -0.80 | 2.03 | 广发基金 |
| 562590 | 华夏中证半导体材料设备主题ETF | 24.77 | 1.20 | 0.44 | -0.09 | 0.86 | 华夏基金 |
| 159327 | 万家中证半导体材料设备主题ETF | 9.52 | 0.47 | 0.20 | -0.14 | -0.20 | 万家基金 |
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