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京仪装备取得温控网关设备相关专利，实现半导体设备基于EtherCAT的数据传输

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3月31日消息，国家知识产权局信息显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请一项名为“一种用于半导体温控设备的EtherCAT从站网关”的专利，授权公告号CN121098666B，授权公告日为2026年3月27日。申请公布号为CN121098666A，申请号为CN202511641334.1，申请公布日期为2026年3月27日，申请日期为2025年11月11日，发明人徐鑫伟、陈富强、丁金龙、陈杰，专利代理机构北京超凡宏宇知识产权代理有限公司，专利代理师贺亚博，分类号H04L12/66、H04L12/40。

专利摘要显示，本申请提供了一种用于半导体温控设备的EtherCAT从站网关，包括硬件层与软件层：硬件层为嵌入式半导体工业设备通信网关，集成供电模块、主控模块、以太网通信模块、EtherCAT从站模块及24V输入输出端口模块；软件层为分层架构的嵌入式软件系统，分为应用层、协议层及硬件抽象层，实现业务逻辑处理、通信协议转换与软硬件交互解耦。本申请通过硬件与软件的协同工作，能够实现半导体生产设备主机与Chiller之间基于EtherCAT协议的数据传输，提升数据传输的实时性、准确性与系统可维护性，适配半导体生产对温度控制的高精度、高稳定性需求。

京仪装备成立于2016年6月30日，于2023年11月29日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为北京市。该公司是国内半导体专用设备领域的重要企业，主营半导体专用温控、废气处理及晶圆传片设备，技术实力较强。

京仪装备所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，涉及中芯国际概念、半导体设备概念、北京国资等概念板块。公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，主营产品有半导体专用温控设备(Chiller)、半导体专用工艺废气处理设备(Local Scrubber)和晶圆传片设备(Sorter)。

2025年，京仪装备营业收入达14.26亿元，在行业6家公司中排名第3，与第一名中微公司的123.85亿元、第二名盛美上海的67.86亿元相比差距明显，但高于行业平均数36.57亿元和中位数10.62亿元。净利润方面，2025年为1.48亿元，行业排名第4，第一名中微公司为20.64亿元，第二名盛美上海为13.95亿元，低于行业平均数6.49亿元和中位数1.62亿元。

北京京仪自动化装备技术股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种机械手奇异点控制方法、装置、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610011983.12026-01-06CN121515214A2026-02-13梁小影、吕维迪
2一种交错并联Buck变换器的均流控制系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511819611.32025-12-04CN121585005A2026-02-27石尚、丁金龙、徐鑫伟、陈杰、廖博轩
3半导体工业废气处理方法及系统发明专利授权CN202511785798.X2025-12-01CN121222235B2026-03-03于贺杰、曹小康、张坤、席涛涛、蔡传涛、宁腾飞、杨琪
4基于等离子活化水的NO发明专利授权CN202511785801.82025-12-01CN121222249B2026-03-27于贺杰、曹小康、张坤、席涛涛、蔡传涛、宁腾飞
5基于预测的半导体工艺温度控制方法、装置及电子设备发明专利公布CN202511772484.62025-11-28CN121680516A2026-03-17薛山、于浩、周亮、张浩
6水箱组件、废气处理设备及废气处理控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511732628.52025-11-24CN121371852A2026-01-23杨春涛、席涛涛、乔伟超、张坤、杨春水
7半导体温控设备发明专利公布CN202511729217.02025-11-24CN121742553A2026-03-27张浩
8晶圆物料盒和晶圆物料盒支撑架发明专利公布CN202511723355.82025-11-21CN121665992A2026-03-13张朝阳、赵雷、李宁宁
9一种晶圆储料器发明专利授权CN202511705951.32025-11-20CN121171945B2026-03-06吕忠伟、孙敬雷
10一种晶圆储料装置发明专利公布CN202511710701.92025-11-20CN121626582A2026-03-10赵雷
11一种废气处理设备的监控方法、系统、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511683863.82025-11-17CN121411371A2026-01-27王潇、徐鑫伟、丁金龙、杨子臣
12晶圆倒片机的校点装置及方法、电子设备、存储介质和计算机程序产品发明专利公布CN202511677080.92025-11-14CN121693064A2026-03-17韩九阳
13一种快速控温方法、温控系统、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511657775.02025-11-12CN121143540A2025-12-16芮守祯、于浩、孙硕、李卓昆、董春辉、曹小康、何茂栋
14一种用于半导体温控设备的EtherCAT从站网关发明专利授权CN202511641334.12025-11-11CN121098666B2026-03-27徐鑫伟、陈富强、丁金龙、陈杰
15用于温控设备的分流调节设备及方法、温控设备及半导体制程系统发明专利公布CN202511635697.42025-11-10CN121680514A2026-03-17张浩
16半导体废气燃烧产物的处理装置发明专利公布CN202511519273.12025-10-23CN121720106A2026-03-24李阳、丁树园
17一种晶圆预校准器的自动定位机械圆心方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511515868.X2025-10-22CN121398522A2026-01-23廖博轩
18电箱内部元器件的布局设计方法及系统、电子设备和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511461203.52025-10-13CN121598882A2026-03-03李轩、程玉雪、张昱翀、刘昭雲、李伟鹏、宗国泰、高智雪、谷存帅、雷浩、孟宪涛、刘宇超
19一种废气处理设备的节能控制方法、控制装置及电子设备发明专利公布CN202511382532.02025-09-25CN121541511A2026-02-17杨春涛
20温控系统及温控方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511350221.62025-09-19CN121115926A2025-12-12郑璐、靳李富、孙硕、胡文达、刘紫阳、芮守祯、董春辉、何茂栋、曹小康
21半导体温控装置和半导体温控装置的控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511348069.82025-09-19CN121143524A2025-12-16郑璐
22温控系统及温控方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511350225.42025-09-19CN121143525A2025-12-16郑璐、董春辉、胡文达、靳李富、刘紫阳、芮守祯、何茂栋、曹小康
23半导体温控装置和半导体温控装置的控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511348070.02025-09-19CN121165834A2025-12-19郑璐
24半导体温控装置和半导体温控装置的控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511348068.32025-09-19CN121254932A2026-01-02郑璐
25温控设备、集成电路制程系统及控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511331933.32025-09-17CN121300521A2026-01-09靳李富、董春辉、刘紫阳、胡文达、郑璐、李云松、周强、徐兴、芮守祯、何茂栋、曹小康
26一种基于液氮控温的半导体温控装置及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511291304.22025-09-10CN121096845A2025-12-09郑璐、顾晓虎、靳李富、胡文达、刘紫阳、芮守祯、曹小康、董春辉、何茂栋
27一种基于半导体的温度控制方法、装置、电子设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511284131.12025-09-09CN121008621A2025-11-25雍明
28一种双三通阀控制耦合吸收式制冷的半导体温控设备及温控方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511280255.22025-09-09CN121297276A2026-01-09靳李富、郑璐、李云松、胡文达、刘紫阳、徐兴、周强、芮守祯、何茂栋、曹小康
29一种耦合吸收式制冷的半导体温控设备及温控方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511280258.62025-09-09CN121297277A2026-01-09靳李富、胡文达、周强、郑璐、刘紫阳、李云松、徐兴、芮守祯、何茂栋、曹小康
30一种半导体温控设备及温控方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511280260.32025-09-09CN121326002A2026-01-13靳李富、郑璐、徐兴、胡文达、刘紫阳、李云松、周强、芮守祯、何茂栋、曹小康
31一种特气预混方法和装置发明专利公布CN202511239632.82025-09-01CN121016535A2025-11-28闫潇
32一种夹持工装、焊接工装及辅助生产设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511229662.02025-08-29CN120791303A2025-10-17杨震
33温控系统和温控方法发明专利公布CN202511228653.X2025-08-29CN120973123A2025-11-18李文博、常鑫、冯涛、鲁元进、刘争、王中伟、王晓波、许海锋、刘洋、张涵、何茂栋、曹小康、芮守祯、董春辉
34一种循环液温控系统及方法发明专利公布CN202511225769.82025-08-29CN120973122A2025-11-18蒋培培
35温控系统和温控方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511228662.92025-08-29CN121008629A2025-11-25李文博、曹小康、于浩、常鑫、冯涛、鲁元进、刘争、王晓波、王中伟、许海锋、张涵、何茂栋、芮守祯、董春辉
36一种基于半导体废气处理设备反应腔外壁及其降温方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511178018.52025-08-21CN120838114A2025-10-28席涛涛、于贺杰、杨春涛、乔伟超、杨琪、杨春水、张坤
37半导体废气处理设备的反应腔温度控制方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511178020.22025-08-21CN121089060A2025-12-09席涛涛、杨春涛、乔伟超、杨琪、于贺杰、杨春水、张坤
38半导体废气处理设备的热量回收控制方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511178021.72025-08-21CN121162913A2025-12-19席涛涛、于贺杰、杨春涛、乔伟超、杨琪、杨春水、张坤
39一种废气处理方法和系统发明专利公布CN202511042888.X2025-07-28CN120939721A2025-11-14于贺杰、张坤、闫潇
40晶圆校准器基准点校准方法、装置、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511027954.62025-07-24CN121112976A2025-12-12吕维迪、廖博轩
41晶圆偏移检测方法、装置、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511027955.02025-07-24CN121112967A2025-12-12吕维迪
42机泵柜外观专利授权CN202530380116.12025-06-30CN309829539S2026-03-06杜佳亮、宁腾飞、张京华、张坤、杨春水
43机械手取片方法及电子设备发明专利公布CN202510863330.12025-06-25CN120977940A2025-11-18杨森元、张朝阳、侯君、何冰、邓博雅
44一种晶圆传送装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510854310.82025-06-24CN120749066A2025-10-03张朝阳、杨森元、郝瀚
45一种低温制冷设备管路的疲劳等效试验方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510817425.X2025-06-18CN120558553A2025-08-29宗国泰、李轩、李伟鹏、刘昭雲、程玉雪、张昱翀、高智雪、谷存帅
46废气处理装置及处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510796184.52025-06-13CN120550587A2025-08-29张京华、曹小康
47流量计测试机外观专利授权CN202530336940.72025-06-12CN309824629S2026-03-03王贤麟
48半导体废气处理设备的消除水箱细菌的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510712002.12025-05-29CN120535050A2025-08-26杨春涛、曹小康
49一种半导体温控模块TVOC减排系统及方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510695964.02025-05-28CN120221471B2025-08-29于贺杰、曹小康、张坤、袁鹏华
50用于电子设备的装置测试控制图形用户界面外观专利授权CN202530296800.12025-05-26CN309877012S2026-03-27赵明杰

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