数据显示，3月25日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)遭净赎回6090.63万元，位居当日股票ETF净流出排名68/1142。最新规模82.54亿元，前一日规模81.59亿元，当日资金净流出额占前一日规模的比例为0.75%。
近5日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购5471.29万元，位居股票ETF净流入排名第98/1142。近10日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购1.28亿元，位居股票ETF净流入排名第88/1142。近20日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购11.82亿元，位居股票ETF净流入排名第19/1142。
华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）成立于2025年3月24日，基金全称为华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。
规模方面，截止3月25日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）最新份额为51.85亿份，最新规模为82.54亿元。回顾2025年12月31日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）份额为24.47亿份，规模为36.77亿元。即该基金今年以来份额增加111.89%，规模增加124.45%。
流动性方面，截止3月25日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）近20个交易日累计成交金额157.87亿元，日均成交金额7.89亿元；今年以来，52个交易日，累计成交金额479.58亿元，日均成交金额9.22亿元。
华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）现任基金经理为杨斯琪。杨斯琪自2025年3月24日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益59.18%。
最新定期报告显示，华夏基金（588170）重仓股包括拓荆科技、华海清科、沪硅产业、中微公司、中科飞测、安集科技、芯源微、天岳先进、华峰测控、盛美上海，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688072 | 拓荆科技 | 10.08% | 112.34万 | 3.71亿 |
| 688120 | 华海清科 | 9.64% | 236.11万 | 3.54亿 |
| 688126 | 沪硅产业 | 9.40% | 1596.59万 | 3.46亿 |
| 688012 | 中微公司 | 8.61% | 116.14万 | 3.17亿 |
| 688361 | 中科飞测 | 8.35% | 200.70万 | 3.07亿 |
| 688019 | 安集科技 | 6.66% | 112.43万 | 2.45亿 |
| 688037 | 芯源微 | 6.22% | 153.90万 | 2.29亿 |
| 688234 | 天岳先进 | 4.95% | 204.78万 | 1.82亿 |
| 688200 | 华峰测控 | 4.68% | 90.45万 | 1.72亿 |
| 688082 | 盛美上海 | 4.39% | 91.61万 | 1.61亿 |
跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20260325 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20260325 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 588170 | 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF | 82.54 | 7.89 | -0.61 | 0.55 | 11.82 | 华夏基金 |
| 588710 | 华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF | 15.56 | 1.65 | -0.46 | -0.59 | 0.10 | 华泰柏瑞基金 |
| 589020 | 鹏华科创板半导体材料设备主题ETF | 5.18 | 0.41 | -0.18 | -0.18 | 0.26 | 鹏华基金 |
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