数据显示，3月9日，国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)获净申购2.6亿元，位居当日股票ETF净流入排名17/1132。最新规模205.49亿元，前一日规模208.32亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为1.25%。
近5日，国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)遭净赎回1.76亿元，位居股票ETF净流出排名第52/1132。近10日，国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)获净申购5273.11万元，位居股票ETF净流入排名第137/1132。近20日，国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)获净申购11.65亿元，位居股票ETF净流入排名第25/1132。
国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）成立于2023年7月19日，基金全称为国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为国泰中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。
规模方面，截止3月9日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）最新份额为119.31亿份，最新规模为205.49亿元。回顾2025年12月31日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）份额为58.53亿份，规模为90.11亿元。即该基金今年以来份额增加103.85%，规模增加128.04%。
流动性方面，截止3月9日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）近20个交易日累计成交金额279.98亿元，日均成交金额14亿元；今年以来，40个交易日，累计成交金额723.17亿元，日均成交金额18.08亿元。
国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）现任基金经理为艾小军。艾小军自2023年7月19日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益72.24%。
最新定期报告显示，国泰基金（159516）重仓股包括北方华创、中微公司、拓荆科技、长川科技、沪硅产业、华海清科、中科飞测、南大光电、安集科技、芯源微，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 002371 | 北方华创 | 14.47% | 284.08万 | 13.04亿 |
| 688012 | 中微公司 | 11.93% | 394.09万 | 10.75亿 |
| 688072 | 拓荆科技 | 7.08% | 193.27万 | 6.38亿 |
| 300604 | 长川科技 | 5.76% | 513.81万 | 5.19亿 |
| 688126 | 沪硅产业 | 5.31% | 2211.13万 | 4.78亿 |
| 688120 | 华海清科 | 4.75% | 286.67万 | 4.28亿 |
| 688361 | 中科飞测 | 4.11% | 242.06万 | 3.70亿 |
| 300346 | 南大光电 | 3.78% | 793.62万 | 3.40亿 |
| 688019 | 安集科技 | 3.26% | 134.65万 | 2.93亿 |
| 688037 | 芯源微 | 3.06% | 185.50万 | 2.75亿 |
跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20260309 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20260309 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 159516 | 国泰中证半导体材料设备主题ETF | 205.49 | 13.69 | 2.60 | -1.76 | 2.69 | 国泰基金 |
| 159558 | 易方达中证半导体材料设备主题ETF | 49.29 | 2.69 | 1.19 | 0.83 | 3.15 | 易方达基金 |
| 560780 | 广发中证半导体材料设备ETF | 36.25 | 1.79 | 0.90 | 3.20 | -1.96 | 广发基金 |
| 562590 | 华夏中证半导体材料设备主题ETF | 26.13 | 1.60 | 0.50 | 2.07 | -0.01 | 华夏基金 |
| 159327 | 万家中证半导体材料设备主题ETF | 10.28 | 0.58 | 0.26 | 0.25 | -0.38 | 万家基金 |
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