2月24日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）涨0.71%，报1.845元，成交额6.58亿元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创截止午盘涨0.78%，中微公司涨0.38%，拓荆科技跌0.10%，长川科技涨2.31%，沪硅产业涨1.85%，华海清科涨1.29%，中科飞测跌0.20%，南大光电涨3.49%，安集科技涨2.22%，芯源微跌4.28%。
半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为82.98%，近一个月回报为3.75%。
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