1月23日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）收盘涨1.95%，成交额2.45亿元。
半导体设备ETF华夏（562590）成立于2023年10月9日，基金全称为华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。半导体设备ETF华夏（562590）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率。
规模方面，截止1月22日，半导体设备ETF华夏（562590）最新份额为14.77亿份，最新规模为29.46亿元。回顾2025年12月31日，半导体设备ETF华夏（562590）份额为4.90亿份，规模为7.91亿元。即该基金今年以来份额增加201.57%，规模增加272.26%。
流动性方面，截止1月23日，半导体设备ETF华夏（562590）近20个交易日累计成交金额41.23亿元，日均成交金额2.06亿元；今年以来，15个交易日，累计成交金额36.60亿元，日均成交金额2.44亿元。
半导体设备ETF华夏（562590）现任基金经理为单宽之。单宽之自2024年6月11日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益124.26%。
最新定期报告显示，半导体设备ETF华夏（562590）重仓股包括北方华创、中微公司、拓荆科技、长川科技、沪硅产业、华海清科、中科飞测、南大光电、安集科技、芯源微，持仓占比如下。
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 002371 | 北方华创 | 14.18% | 24.44万 | 1.12亿 |
| 688012 | 中微公司 | 12.67% | 36.76万 | 1.00亿 |
| 688072 | 拓荆科技 | 7.00% | 16.78万 | 5537.00万 |
| 300604 | 长川科技 | 5.67% | 44.27万 | 4484.99万 |
| 688126 | 沪硅产业 | 5.22% | 191.03万 | 4133.83万 |
| 688120 | 华海清科 | 4.68% | 24.67万 | 3702.13万 |
| 688361 | 中科飞测 | 4.05% | 20.93万 | 3201.59万 |
| 300346 | 南大光电 | 3.73% | 68.90万 | 2955.91万 |
| 688019 | 安集科技 | 3.24% | 11.76万 | 2562.61万 |
| 688037 | 芯源微 | 3.02% | 16.07万 | 2387.30万 |
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