数据显示，1月13日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购2058.52万元，位居当日股票ETF净流入排名134/1097。最新规模46.19亿元，前一日规模47.69亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为0.43%。
近5日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购6.35亿元，位居股票ETF净流入排名第40/1097。近10日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购5.63亿元，位居股票ETF净流入排名第53/1097。近20日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购5.34亿元，位居股票ETF净流入排名第74/1097。
华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)已连续4日资金获净申购，区间净流入额6.87亿元。
华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）成立于2025年3月24日，基金全称为华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。
规模方面，截止1月13日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）最新份额为27.43亿份，最新规模为46.19亿元。回顾2025年12月31日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）份额为24.47亿份，规模为36.77亿元。即该基金今年以来份额增加12.10%，规模增加25.60%。
流动性方面，截止1月13日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）近20个交易日累计成交金额127.68亿元，日均成交金额6.38亿元；今年以来，7个交易日，累计成交金额59.36亿元，日均成交金额8.48亿元。
华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）现任基金经理为杨斯琪。杨斯琪自2025年3月24日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益68.37%。
最新定期报告显示，华夏基金（588170）重仓股包括中微公司、华海清科、拓荆科技、沪硅产业、安集科技、中科飞测、芯源微、盛美上海、华峰测控、天岳先进，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688012 | 中微公司 | 10.82% | 100.94万 | 3.02亿 |
| 688120 | 华海清科 | 10.26% | 173.27万 | 2.86亿 |
| 688072 | 拓荆科技 | 9.87% | 105.80万 | 2.75亿 |
| 688126 | 沪硅产业 | 9.09% | 982.82万 | 2.54亿 |
| 688019 | 安集科技 | 7.30% | 89.16万 | 2.04亿 |
| 688361 | 中科飞测 | 7.06% | 169.84万 | 1.97亿 |
| 688037 | 芯源微 | 6.52% | 122.00万 | 1.82亿 |
| 688082 | 盛美上海 | 4.83% | 66.77万 | 1.35亿 |
| 688200 | 华峰测控 | 4.58% | 61.39万 | 1.28亿 |
| 688234 | 天岳先进 | 3.82% | 129.83万 | 1.07亿 |
跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、科半导体（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20260113 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20260113 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 588170 | 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF | 46.19 | 6.38 | 0.21 | 6.35 | 5.34 | 华夏基金 |
| 588710 | 科半导体 | 12.33 | 1.68 | -0.14 | 2.77 | 3.59 | 华泰柏瑞基金 |
| 589020 | 鹏华科创板半导体材料设备主题ETF | 3.52 | 0.47 | -0.08 | 0.53 | -0.34 | 鹏华基金 |
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