9月23日，截止午间收盘，半导体设备ETF（159516）涨0.75%，报1.352元，成交额4.90亿元。半导体设备ETF（159516）重仓股方面，北方华创截止午盘跌1.78%，中微公司涨0.01%，沪硅产业涨9.52%，华海清科涨1.07%，南大光电跌2.68%，拓荆科技涨2.15%，长川科技涨20.00%，中科飞测跌0.70%，安集科技跌2.55%，芯源微跌2.41%。
半导体设备ETF（159516）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为国泰基金管理有限公司，基金经理为艾小军，成立（2023-07-19）以来回报为34.01%，近一个月回报为8.22%。
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