CMP抛光液大厂突发断供:国内供应格局梳理
(转自:伏白的交易笔记)
一. 消息面汇总
7月1日行业消息,受台湾出口管制限制,CMP抛光液大厂AGC突发断供,
Fab1 DSTI slurry暂停供货。
化学机械抛光(CMP)是半导体制造中实现晶圆表面平坦化的核心工艺,为先进制程必须环节。
作为CMP工艺核心耗材,抛光液通过化学腐蚀、机械研磨作用,直接决定芯片表面平坦度,确保后续光刻等工艺的精度。
当前全球抛光液市场超80%份额被美日厂商占据,国内中高端产品自给率不足20%,国产替代需求迫切。
二. 抛光液概览
抛光液是一种由纳米级磨料、化学试剂和去离子水组成的复合溶液,在集成电路、先进封装、传感器、功率器件等领域均有应用。
2.1 组成
(1)化学试剂:氧化剂(过氧化氢、硝酸铁等)、PH调节剂(酸性用于金属抛光、碱性用于介质层抛光)。
(2)纳米级磨料:二氧化硅(氧化物抛光)、氧化铝(金属抛光)、氧化铈(碳化硅抛光)。
2.2 作用原理
(1)化学作用:氧化剂将晶圆表面材料氧化为软质层,络合剂使其溶解于抛光液中。
(2)机械作用:提供机械磨削力去除软化层,表面活性剂防止颗粒团聚划伤晶圆。
2.3 半导体制造应用
(1)前道工艺:浅沟槽隔离(抛光二氧化硅层)、多晶硅栅极抛光(平坦化栅极结构,保障后续光刻对准精度)。
(2)后道工艺:铜互连抛光(去除多余铜)、钨栓塞抛光(填充通孔后平坦化)。
2.4 配套设备
(1)抛光机:通过压力控制、抛光垫纹理设计实现均匀研磨。
(2)抛光垫:聚氨酯多孔材料。
三. 抛光液市场格局
全球抛光液市场由美日厂商主导,前五大厂商占据超80%份额:美国Cabot、日本Resonac、日本Fujimi、美国杜邦、德国默克。