国产EUV光刻机有重大突破！

（转自：半导体前沿）

6月30日消息，近日某知名科技媒体爆出震撼性消息：中国自主研发的EUV光刻机，已经取得了实质性突破！更引人瞩目的是，中国技术团队选择了一条与荷兰ASML截然不同的技术路径——激光诱导放电等离子体（LDP）。

ASML路线（LPP）： 依赖昂贵复杂的高能激光器轰击锡滴产生等离子体，其控制系统基于极其精密的FPGA（现场可编程门阵列），如同一个需要顶级交响乐团指挥的精密乐章。

中国路线（LDP）： 核心在于让电极间的锡材料汽化，再通过高压放电将其转化为等离子态。电子与离子激烈碰撞，最终激发出那至关重要的13.5纳米极紫外光。这更像一场精准控制的定向爆破。

技术路线差异带来多重优势。 根据曝光的试产报告，采用LDP技术的原型机，展现出令人振奋的特点：设计更简洁、结构更紧凑、能耗显著降低、制造成本优势明显。 这不仅是一次技术突围，更是一次对传统高成本、高能耗模式的颠覆性创新。

关键时间节点敲定：2025年第三季度，也就是说，中国EUV光刻机即将登场？这是外媒报道中提及的国产EUV光刻机进入试产阶段的重大时刻。一旦如期启动，无疑将宣告中国在半导体制造最尖端领域拥有了真正的自主力量。

长期以来，受限于EUV设备的缺失，中企在制造7纳米及以下节点的顶级芯片时，被迫采用复杂且昂贵的“多重曝光”技术。这如同用毛笔反复描绘本该一笔完成的超细线条，导致成本飙升、良率下降、效率低下。有分析估算，若沿用旧技术生产5纳米芯片，其成本将比国际领先水平高出惊人的50%。这直接制约了国产高端芯片的竞争力。

国产EUV光刻机的落地，将是打破这一魔咒的根本钥匙。它意味着下一代手机处理器、人工智能芯片、高性能计算核心将有可能在国内生产线直接诞生。

Hyperion-1是XX和XXX合作开发的第一台EUV样机，这是中国实现先进半导体自给自足的关键。

它使用激光产生等离子体(LDP)技术，使用Yb光纤激光器(50W)和Mo/Si多层反射镜(65%反射率)，小批量实现5-3纳米节点。

尽管其功率较低(与ASML的250W相比)，但它集成了诸如以下创新：

• 碳纳米管冷却镜片

• 用于等离子体控制的RISC-V软件

• 紧凑设计(是ASML的三分之一大小)

它目前能够每小时生产约10个晶圆(相比之下ASML为150个)，专注于研发和X用芯片。到2026年，Hyperion-2的产能将提升至150W，从而实现商业化生产。其目标是打破ASML的垄断，并为未来的Ascend930(5nm)、Ascend 920B(5nm)和Ascend 910D(5nm)提供芯片支持。

主要优势：不依赖西方供应链条。

面临挑战：提高产量和耐用性。

来源：官方媒体/网络新闻

会议背景

电子特气是半导体制造中的关键材料，对芯片性能和良率有直接影响，是半导体制造的第二大耗材，占比约14%。2025年，中国电子特气市场规模近300亿，且保持每年10%的增长。

追随空气化工、林德、液化空气、大阳日酸等国际企业的步伐，国内电子特气企业金宏气体、华特气体、南大光电、中船特气和雅克科技等纷纷取得突破。国内企业已经在关键领域实现突破，产品进入台积电、美光、中芯国际等国际头部晶圆厂供应链。然而，高端前驱体和光刻气等仍依赖进口，国产化率低，具备很大的发展潜力。

2024年全球半导体金属/氧化物前驱体市场规模达17亿美元，同比增长15%。中国作为重要市场，亚化咨询预计2028年半导体前驱体市场将达12亿美元。主要受益于存储芯片及逻辑芯片先进制程的需求。伴随中芯、华润、华虹、长江存储、长鑫、等本土晶圆厂扩产，国产前驱体在纯度、定制化解决方案领域替代空间巨大。国内龙头企业雅克科技、南大光电、正帆科技发展迅速，厦门恒坤、上海至纯等在前驱体领域也不断推进。 

2025电子特气与半导体前驱体论坛（AESG2025）将于9月25-26日在苏州召开。会议由亚化咨询主办，金宏气体等企业战略支持。将探讨电子特气与前驱体发展现状与趋势，搭建产学研平台，聚焦技术创新、工艺优化、供应链安全与合作，推动半导体核心材料跨越式发展。

会议主题

• 全球与中国半导体发展的材料需求

• 半导体特气国产化进程与高端市场突破

• 电子特气与前驱体在晶圆厂的认证

• 金属/金属氧化物/硅基前驱体与掺杂材料技术

• 从实验室到量产：电子气体与前驱体的产业化

• ALD/CVD前驱体材料的国产化现状与未来方向

• ArF/DUV/EUV光刻过程中的气体纯度与控制技术

• 光刻胶配套特气的协同创新机遇

• 电子特气与前驱体分析检测技术与设备

• 合成、提纯技术（如精馏、吸附）与设备

• 阀门与配套设备的本土化进展

• 安全性评估与储运标准体系建设

• 商务参观：金宏气体

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关于亚化咨询

亚化咨询是国内领先的新兴能源、材料领域的产业智库，2008年成立于上海浦东。业务范围：咨询研究、会议培训、产业中介。重点关注：新兴能源、材料产业，如煤化工、高端石化、光伏、氢能与燃料电池、生物能源材料、半导体、储能等。