导读：近日，东南大学发布多批政府采购意向，仪器信息网特对其中的仪器设备品目进行梳理，统计出33项仪器设备采购意向，预算总额达1.21亿元。
近日，东南大学发布37项仪器设备采购意向，预算总额达1.21亿元，涉及薄膜热应力测量仪、扫描电化学显微镜、汞探针测试仪、傅里叶红外光谱仪等，预计采购时间为2025年5~6月。
东南大学2025年5~6月仪器设备采购意向汇总表
采购 项目 | 需求概况 | 预算 万元 | 采购 时间 |
胶膜层压机 | 购置1套。实现各类衬底表面层压式贴膜工艺。最大压力不小于2 MPa，最高加热温度不小于180 oC。 | 320 | 2025年6月 |
Parylene沉积设备 | 购置1套。可实现在各类衬底上沉积Parylene薄膜，对晶圆进行钝化。腔体尺寸不小于12*12英寸。 | 50 | 2025年6月 |
薄膜热应力测量仪 | 购置1套。对衬底表面各类薄膜进行应力测量，测量范围1MPa-7.8GPa，应力测量精度< 1% 或0.32 MPa，翘曲扫描分辨率1微米。 | 302 | 2025年6月 |
扫描电化学显微镜 | 购置1套。用于检测晶圆电镀表面微区电化学过程，提供金属电镀机理信息。3D控制平台位移扫描范围：100 mm x 100 mm x 100 mm。扫描精度：X，Y，Z三轴均优于1 nm。 | 340 | 2025年6月 |
汞探针测试仪 | 购置1套。对薄膜电学性质进行无损检测。最高电压不低于250V，升降压速优于0 to 50 V/sec，载流子浓度测试范围优于1E14-1E19 carriers/cm³，测试精度≤2%，测试重复性≤0.50%，Hg 面积重复性≤0.20%，测试时汞用量小于36 uL。 | 340 | 2025年6月 |
傅里叶红外光谱仪 | 购置1套。对各类非金属薄膜采集红外吸收光谱，确定分子结构。光谱范围优于 8,000－400 cm-1，分辨率优于 0.2 cm-1，波数精度优于 0.01 cm-1，透光率精度优于 0.06%T，信/噪比高于 60,000：1。 | 230 | 2025年6月 |
12寸探针台 | 购置1套。对12寸及以下晶圆及样品进行电学测试，可控温度，具有电磁噪声屏蔽功能。XY精度优于±2微米，Z精度优于2微米，EMI屏蔽>30 dB@1 kHz-1 MHz，温度范围优于-60至200 oC，SMU测试单元分辨率优于0.1 fA。450kHz-1 MHz，温度范围优于-60至200 oC，SMU测试单元分辨率优于0.1 fA。 | 450 | 2025年6月 |
超声显微镜 | 购置1套。对多层晶圆内部的缺陷进行透视分析。可进行A、B、C三种超声波扫描，C型扫描层数>300，成像精度最小0.5 微米/像素，支持换能器频率范围1-400 MHz，ADC卡采样率1.25G/秒。 | 175 | 2025年6月 |
薄膜力学测量仪 | 购置1套。对衬底上薄膜弹性模量进行定量测试。频率范围2-250 MHz，膜厚范围 5 nm~600 微米，测量精度2*10E-5。 | 180 | 2025年6月 |
晶圆减薄机 | 购置1套。对12寸晶圆进行减薄加工，无晶圆碎裂，减薄后片内厚度偏差小于2.5微米。 | 800 | 2025年6月 |
12寸等离子增强气相沉积 | 具有三个以上12英寸晶圆沉积腔，可实现液体源的导入，可沉积SiO2,Si3N4,SiCN等薄膜，12英寸晶圆片内不均匀度小于5%。 | 1650 | 2025年6月 |
半导体器件脉冲电压电流测试系统 | 购置1套满足第三代半导体器件测试的脉冲电压电流（PIV）测试系统，要求最大脉冲电压1500V，最大脉冲电流33A，最小脉宽200ns。 | 150 | 2025年6月 |
MW级加压富氧燃烧平台 | 采购MW级加压富氧燃烧平台1套，包含装置主体1套（含反应器密相/稀相区、加压装置、气固分离装置、进料装置等子系统）、辅助系统1套（含控制系统、供氧系统、尾气处理单元、安全防护单元等）。 需实现MW级（0.1 ~ 1.5MW）燃料在加压（≤1MPa）富氧环境下的高效、稳定燃烧；支持氧气浓度可调（21% ~ 100%），适应不同燃料类型（如煤粉、生物质等），提供实时燃烧数据监测功能（温度、压力、氧浓度、排放物浓度等）。 设计与制造标准需符合ASME BPVC、GB/T 150《压力容器》等国际/国内标准，达到燃烧效率≥95%，热负荷波动范围≤±3%。 材料耐温≥1200℃，耐压能力≥1.5MPa（安全冗余设计）。整机质保期≥2年，关键部件质保期≥3年。 | 185 | 2025年5月 |
雷达信号收发器 | 1 雷达信号收发器 名称：雷达信号收发器实现功能：实现雷达信号的收发采集分析采购数量：1套采购需求概况：1、实现单台设备低频至毫米波频段的连续覆盖，支持宽带雷达信号的实时产生和采集接收。2、支持宽带雷达信号和模型的二次开发，支持第三方雷达信号模型，兼容FPGA资源的拓展开发。3、支持系统级的自校准，支持线损及时延的去嵌自校准。服务：要求现场培训。 | 436 | 2025年5月 |
高精度温湿度箱 | 购置1套。工艺参数测试和传感器测试表征。 | 120 | 2025年6月 |
高低温真空探针台 | 购置1套。为被测芯片提供一个低温或者高温的变温真空测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。 | 130 | 2025年6月 |
红外傅里叶光谱显微检测系统 | 购置1套。可以测微区的透射，反射的分子光谱，实现微区成分分析；可以测微区的发射试验，完成微区的发射波形，特征发射频率等表征。分析微纳结构的表面特性，反映出表界面的缺陷、化合物和温度分布特性。 | 171 | 2025年5月 |
荧光正置显微镜 | 购置3套 用于观察染色组织、细胞及荧光标记物。具有超长寿命荧光光源、荧光滤块灵活搭配、高分辨率荧光专用相机等。 | 102 | 2025年6月 |
高通量自动化移液工作站 | 购置2套 用于全自动液体处理工作，具有多功能的工作空间、自动化实验室耗材定位器、灵活的移液和实验流程管理等。 | 160 | 2025年6月 |
超高分辨率激光共聚焦显微镜 | 购置1套 用于超高分辨成像，具有超分辨视野、多激光、全自动荧光显微镜、活细胞培养等。 | 595 | 2025年6月 |
流式细胞仪 | 购置1套 用于细胞检测与分选，具有高灵敏度、高分辨率、多激光器等功能。 | 240 | 2025年6月 |
高分辨率活细胞工作站 | 购置1套 用于活细胞显微成像采集定时拍摄，在白光或荧光下观测活细胞的增殖、迁移、粘附等，进行细胞分析成像。 | 200 | 2025年6月 |
多功能成像仪 | 购置1套 用于多种样品如凝胶、印迹膜、多孔板、培养皿、玻片、组织切片、放射性同位素、比色样本等的高质量成像。 | 140 | 2025年6月 |
高通量分子互作仪 | 购置1套 用于实时、直接、动态的观测分子间相互作用的过程，分析多分子之间互作。 | 250 | 2025年6月 |
钨灯丝扫描电子显微镜 | 购置1套 用于观察、分析和记录材料的微观形貌，具有生物材料表面的超微观察。 | 205 | 2025年6月 |
全自动体视荧光显微镜 | 购置2套 用于生物样本成像，具有连续放大、多通道体视荧光采集、超长寿命荧光光源、高分辨率相机等。 | 170 | 2025年6月 |
超低温冰箱 | 购置32台 用于生物样本低温存储，能达到零下80度左右。 | 173 | 2025年6月 |
体视显微镜 | 购置包含LED双光纤冷光源 38套、普通体视显微镜 34套 用于生物样本观察。 | 227 | 2025年6月 |
台式高速冷冻离心机 | 17套 用于分子样品制备、纯化等，具有低噪音、高离心力、制冷等功能。 | 230 | 2025年6月 |
台式离心机 | 购置20套 用于分子样本制备、纯化，如质粒、基因组、RNA等。 | 124 | 2025年6月 |
超快光声光谱测量与成像系统 | 飞秒激光器，1套 超快光声测量与成像模块，1套。 | 300 | 2025年6月 |
微纳中心原位力学测试系统采购 | 原位力学测试系统，1台。 | 470 | 2025年5月 |
环境模拟实验装置舱体及系统集成 | （1）采购标的名称：环境模拟实验装置舱体及系统集成。 （2）主要功能及目标：本标的是“极地与极端环境模拟实验设施预研”项目需建实验装置的组成部分，须配合实验装置系统设备购置共同实施。 本标的主要内容包括项目总体方案及施工图设计、项目预算编制、舱体系统及装置基础的加工制造与安装、配套设施建设，以及实验装置系统设备的集成安装调试、整体验收与交付。 （3）采购标的数量：1套。 （4）交货期：合同签订后250天内设备安装验收合格。 （5）采购标的需满足的质量、服务等要求：质保期3年及以上，终身提供维护保养技术服务。 | 2500 | 2025年6月 |
