6月4日，截止午间收盘，半导体设备ETF（561980）涨0.16%，报1.255元，成交额1264.59万元。半导体设备ETF（561980）重仓股方面，北方华创截止午盘涨0.02%，中微公司涨0.58%，中芯国际涨0.76%，韦尔股份涨2.12%，华海清科跌0.43%，拓荆科技跌1.07%，南大光电跌0.03%，长川科技跌0.05%，沪硅产业跌1.08%。
半导体设备ETF（561980）业绩比较基准为中证半导体产业指数收益率，管理人为招商基金管理有限公司，基金经理为房俊一，成立（2023-08-21）以来回报为25.17%，近一个月回报为-4.66%。
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