5月22日，截止午间收盘，芯片设备ETF（560780）涨0.00%，报1.112元，成交额109.92万元。芯片设备ETF（560780）重仓股方面，北方华创截止午盘跌0.16%，中微公司跌0.11%，沪硅产业涨2.08%，华海清科跌0.03%，拓荆科技跌1.04%，南大光电跌0.76%，长川科技涨3.51%，鼎龙股份跌0.70%，雅克科技涨0.28%，芯源微跌0.48%。
芯片设备ETF（560780）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为广发基金管理有限公司，基金经理为吕鑫，成立（2023-12-01）以来回报为11.22%，近一个月回报为-2.29%。
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