总投资33.87亿元,这条6英寸砷化镓晶圆生产基地项目竣工验收!
据珠海建安官微消息,近日,格创·华芯砷化镓晶圆生产基地项目顺利通过竣工验收。
▲项目实景图
据悉,格创·华芯砷化镓晶圆生产基地项目总投资33.87亿元,被认证为广东省重点项目、珠海市产业立柱项目,以化合物半导体晶圆代工技术创新为主导,致力于打造具有国际领先水平的化合物半导体工艺平台,推出高品质、高良率的制程技术,全力协助国内企业实现射频芯片国产化制造,成为中国最大的射频晶圆代工厂,推动射频科技自立自强。
该项目的厂房使用方已于2024年8月,顺利将首批设备移入园区,其中包括光刻机、芯片打标机、化学气相沉积设备、光刻胶涂布显影机、扫描式电子显微镜、等离子体清洗机等百余台专业半导体设备,为项目加快试产投产提供了硬件保障,并于2024年11月,完成项目厂房验收,首条6寸砷化镓晶圆生产线正式调通,并成功生产出第一片6寸2um砷化镓HBT晶圆,该晶圆具备高增益、高效能的特性,可应用于先进5G Phase 7/8手机功率放大器模组以及Wi-Fi 6/7等设备,将于2025年上半年实现大规模量产。
值得一提的是,格创·华芯砷化镓晶圆生产基地项目是格力集团为华芯半导体旗下华芯微电子定制化打造的5.0产业新空间,为助力射频芯片加快国产化替代进程,联合中芯聚源,于2023年助力华芯(珠海)半导体有限公司完成A轮融资,并推动格创·华芯砷化镓晶圆生产基地落地珠海高新区。
(转自:第三代半导体产业)