交付新一代产品后，上海微电子被列“未经核实清单”

原标题：交付新一代产品后，上海微电子被列“未经核实清单”

【文/观察者网 吕栋】北京时间今天上午（2月8日），美国政府宣布将33家中国实体列入所谓“未经核实清单”（Unverified List，UVL），对这些实体从美国出口商那里获取产品实施新的限制，并要求与这些中国公司做生意的美国公司进行额外的尽职调查。

观察者网注意到，中国光刻机生产商上海微电子（Shanghai Micro Electronics Equipment（Group） Co．， Ltd．）也在美国的UVL清单中。而就在昨天，上海微电子刚刚举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式，这意味着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户，引发中国社交媒体一片热议。

光刻机是半导体制造领域的核心设备，荷兰企业阿斯麦（ASML）是这一行业众所周知的领先者。就在春节前，阿斯麦CEO曾公开表示，中国不太可能独立复制出最先进的光刻机。面对“王者的俯视”，上海微电子推出的光刻机与阿斯麦差距还有多大？被列入UVL，对上海微电子又有什么影响？

中国首台，但不用于制造

据上海科学技术委员会网站消息，2月7日，上海微电子装备（集团）股份有限公司（下称：上海微电子）举行中国首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式，上海电气集团和上海微电子的主要领导均出席仪式。

上海科学技术委员会网站截图

消息一出，迅速在社交媒体上引发热议，微博上甚至出现“上海微电子交付中国首台光刻机”的标签。这一缺乏定语的信息，让不了解半导体行业的网友误以为国产光刻机终于实现重大突破。但实际上，上海微电子此次推出的并不是常说的用于芯片前道制造的光刻机，而是用于后道封装的光刻机，这种光刻机的研发门槛相对较低，市场空间也更小。

微博截图

厘清事实，并不是说上海微电子的产品不重要。据上海微电子披露，此次发运的是新一代的先进封装光刻机，主要应用于高端数据中心高性能计算（HPC）和高端AI芯片等高密度异构集成领域，可满足2.5D/3D超大芯片尺寸的先封装应用需求，代表了行业同类产品的最高水平，对丰富上微的产品种类有着重要的意义。

上海微电子党委书记、董事长干频在致辞中表示，本次发运的国内首台2.5D/3D先进封装光刻机，是量产封装光刻机的一次全面升级，具有更高分辨率、更高套刻精度、更大曝光面积，将助力客户实现芯片的异构集成，以相对较低的成本实现芯片系统的性能提升。

封装光刻机是上海微电子的传统优势产品，也是该公司目前的主打产品，全球市场占有率连续多年排名第一。2020年6月，方正证券曾在一份研报中提到，上海微电子在封装光刻机领域已经实现批量供货，是多家封测龙头企业（日月光、通富微电、长电科技等）的主要供货商，国内封装光刻机市场占有率高达80%，全球市场的占有率也高达40%。

观察者网之前报道过，富士康与青岛国资合资设立的半导体封测项目，2021年7月便已开始引进上海微电子封装光刻机。该项目实施主体青岛新核芯科技曾发文指出，光刻机为半导体产业封装厂及晶圆厂关键设备，在如今世界局势的瞬息万变中，新核芯采用国产光刻机，确保将依此稳定生产提高产能。

图源：青岛新核芯科技有限公司

相对封装光刻机，前道制造光刻机的研发难度要大的多。简单来说，前道光刻的主要作用就是将掩模版上的芯片电路图转移到硅片上。一台前道制造光刻机，集合数学、光学、流体力学等多项顶尖技术，决定着芯片的制程和性能水平。目前，一台极紫外光刻机（EUV）集成10万多个零部件，重180吨，需要4架货机运输。

从全球角度来看，半导体前道光刻机长期由阿斯麦、尼康和佳能三家把持，从2012-2019历年全球半导体前道光刻机出货比例可以看出，阿斯麦，尼康，佳能三家公司几乎占据99%的市场份额。其中阿斯麦光刻机市场份额常年在60%以上，市场地位极其稳固，目前年营收在1300亿元人民币左右。

从技术角度看，阿斯麦也代表着前道制造光刻机的最高水平。目前，台积电、三星使用的是阿斯麦0.33 NA EUV光刻机，这种光刻机可用于生产7nm-5nm工艺的芯片。而阿斯麦下一代高数值孔径（0.55 NA）EUV光刻机预计将在2023年上市，具有更高的分辨率（由13nm升级到8nm），可用于3nm工艺，每台售价约20亿人民币，比0.33 NA光刻机售价高出一倍。再下一代的高数值孔径EUV光刻机也在研发中，预计2025年开始大规模应用于2nm甚至以下先进制程的生产。

光刻机行业发展趋势 方正证券2020年6月研报截图

再来看上海微电子。该公司官网披露，600系列光刻机用于IC前道制造。其中，600系列光刻机最新型号SSA600/20的分辨率为90nm，可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。而国产首套90nm前道光刻机成功研制的时间是2009年，也就是说，上海微电子已经10余年没有更新前道光刻机产品信息。

上海微电子官网截图

2020年6月，方正证券在研报中提到，在02专项光刻机项目二期中，设定的时间为2020年12月验收193nmArF浸没式DUV（深紫外）光刻机，其制程工艺为28nm，对标产品为ASML现阶段最强DUV光刻机：TWINSCAN NXT：2000i。无独有偶，2021年6月，英国科技媒体“VERDICT”在一篇报道中称，上海微电子计划在2021年底推出一台国产28nm DUV光刻机。

但眼下已进入2022年，尚未见上海微电子发布“28nm光刻机”。目前，28nm制程虽然已不是手机处理器的最优选择，但是在物联网等众多市场，28nm仍然是主流制程工艺节点，不少晶圆厂基于28nm推出了在成本、功耗、性能等方面更具优势的工艺。而且在实际应用里，28nm光刻机并不是仅能用来生产28nm芯片，经多重曝光后可生产14nm/10nm/7nm芯片，这与主流芯片的差距并不算大。因此，如果上海微电子可以推出可用于28nm工艺的光刻机，对国内半导体产业来说也具有重大意义。

方正证券2020年6月研报截图

实际上，实现光刻机的进口替代并不是某一企业能够单独完成的，需要光刻产业链的顶尖企业相互配合，主要环节包括设计和总体集成、光源系统，提供物镜系统，曝光光学系统，双工作台，浸没系统。

从公开信息来看，前道制造光刻机的研发难度不言而喻，阿斯麦CEO温彼得（Peter Wennink）今年1月也直言，中国不太可能独立复制顶尖的光刻技术，甚至阿斯麦的设备中根本没有中国生产的零部件。但他同时也补充称，物理定律哪里都一样，别那么绝对，中国肯定会尝试。

国产光刻机产业链 方正证券2020年6月研报截图

被列入UVL清单，有什么影响？

北京时间今天早上，美国政府将33家中国实体列入所谓“未经核实清单”（UVL）的消息在市场上引发轩然大波。由于药明生物和药明生物（上海）出现在清单中，港股药明系个股纷纷暴跌，药明康德、药明生物一度暴跌约30%，药明生物已暂停交易，药明康德午后跌幅收窄，A股药明康德跌停。实际上，上海微电子也在这份清单中，但由于该公司不是上市公司，并未引起太多注意。

美国政府将33家中国实体列入“未经核实清单”

对于UVL清单，北京天达共和（上海）律师事务所合伙人詹凯向观察者网表示，未经核实清单（Unverified List）是美国《出口管制条例》（EAR）第744条第6补充案中的规定，若美国商务部工业与安全局（BIS）因超过政府控制的原因无法核实（End-usecheck）外国实体是否“善意”（bona fides），即产品最终用途和最终用户有关的合法性和可靠性，BIS就会将该等外国实体列入“未经核实清单”。

根据美国《出口管制条例》规定，一旦特定实体被列入UVL之中，向该实体出口、再出口或者境内转移（in-country transfer）受到EAR管辖的物项、软件或者技术（受控美国物项）时需要额外的尽职调查或许可证要求。对于这些列入UVL的实体而言，额外的许可证手续和更高的合规要求，会使得商业合作伙伴（包括美国人、再出口美国产品的非美国人，以及转卖美国产品的中国企业）倾向于不与之进行交易，暂停或者取消原有的交易计划。

但与BIS管理的另两种清单——“被拒绝清单”（Denied Persons List）和“实体清单”（Entity List）不同，被列入UVL并不意味全面的禁运，企业如果没有特别情况，一般只需要满足一些额外的并不复杂的程序性要求，还是有机会继续进行业务，而且申请被移出清单的程序和要求也相对容易满足和完成。

詹凯表示，BIS之前已将73个中国实体列入“未经核实清单”。若BIS能够对被列入清单的外国实体完成核查，从而核实该等外国实体的“善意”，BIS将做出决定并将该等外国实体从清单中移除。例如，2019年6月27日BIS将8个位于中国大陆的外国实体从未经核实清单中移除。

截至发稿，上海微电子尚未对被列入UVL清单一事做出回应。而药明生物高管今天上午表示，此次被列入UVL主要原因是新冠疫情阻断调查，美国商务部没办法来到中国检查。该公司CEO陈智胜提到，被列入UVL的企业可以采取有关措施以争取从名单中被移除，主要是公司自己做出承诺（相关出口管制产品用于自用，不作转售），或是等待美国商务部来检查。目前药明生物美国律师团队正紧急作业，准备明天与美国商务部谈判。