计量微课堂：提升光刻机制造质量面临的挑战

光刻机是制造芯片的核心装备。我国在提升光刻机制造质量上面临着哪些挑战？中国工程院院士、哈尔滨工业大学教授谭久彬带你走近《提升光刻机制造质量面临的挑战》。

计量微课堂：提升光刻机制造质量面临的挑战

供稿：市场监管总局计量司

执行编辑：黄星蓉

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